1、固定設(shè)備進(jìn)入的程序
為了避免發(fā)生大型固定設(shè)備進(jìn)入“動(dòng)態(tài)”潔凈室，也就是說(shuō)潔凈室已投付正式運(yùn)行，還要進(jìn)入大型固定設(shè)備，應(yīng)該在管理計(jì)劃中盡可能排出。因?yàn)樵谶@種特殊情況下，潔凈室按ISO 14644-2“證明持續(xù)符合ISO 14644-1的測(cè)試和監(jiān)測(cè)技術(shù)條件”的規(guī)定要重新認(rèn)證潔凈室，其工作是相當(dāng)繁雜的。
正常情況下，通常是在空態(tài)或靜態(tài)條件下降固定設(shè)備送入。把設(shè)備送入潔凈室時(shí)，整個(gè)過(guò)程都不應(yīng)增加對(duì)環(huán)境的污染。解決大型部件運(yùn)進(jìn)運(yùn)出的辦法就是設(shè)計(jì)一個(gè)大型物流氣閘室。如果條件允許，設(shè)計(jì)潔凈室時(shí)，宜考慮采納這個(gè)方案。設(shè)備進(jìn)出潔凈室的另一設(shè)計(jì)方案是在潔凈室的墻上開(kāi)一組雙門(mén)，可足以容納機(jī)器、大型設(shè)備件的通行。由于這樣的通道有可能直接與外走廊相通，因此必須鎖住，只有設(shè)備需要進(jìn)入時(shí)才打開(kāi)。有些類(lèi)型的墻板模塊可以取下來(lái)再安裝好不對(duì)墻造成損壞，如可這樣操作就不需要另開(kāi)門(mén)洞。
2、可在潔凈室內(nèi)墻一側(cè)建一個(gè)臨時(shí)氣閘室
所有準(zhǔn)備進(jìn)入的設(shè)備都要檢查在運(yùn)輸中有無(wú)損壞，有損壞的設(shè)備應(yīng)在潔凈室外隔離保護(hù)起來(lái)，待供貨商修復(fù)或另行處理。
ISO 14644-5“運(yùn)行篇”推薦的拆包過(guò)程如下：
（1）對(duì)設(shè)備外護(hù)層用吸塵設(shè)備進(jìn)行清潔，從頂部開(kāi)始，向兩側(cè)擴(kuò)展。
（2）用適當(dāng)?shù)那鍧崉┎潦猛庾o(hù)層。
（3）從設(shè)備外護(hù)層的頂部撕開(kāi)一個(gè)“工”型或“X”形切口，從頂部向下剝離外護(hù)層。
（4）如有多層包裝，每層包裝膜都要按上述（2）（3）程序重復(fù)進(jìn)行。
（5）所有運(yùn)送設(shè)備人員進(jìn)入氣閘室前都要穿上潔凈服。
（6）所有移動(dòng)用、搬運(yùn)用的設(shè)備都應(yīng)在氣閘室內(nèi)進(jìn)行清潔。
（7）在打開(kāi)氣閘室靠潔凈室一側(cè)的門(mén)運(yùn)入設(shè)備前，應(yīng)先清潔氣閘室。
3、通過(guò)傳遞窗和滅菌器傳遞材料
除了物流氣閘室外，還有其它方法可將材料傳遞入潔凈室內(nèi)供使用。將小型的物件傳進(jìn)傳出潔凈室通用的辦法就是使用傳遞窗。傳遞窗的尺寸要根據(jù)所傳遞材料的大小確定。
傳遞窗的工作方式與物流氣閘室相似，將物品傳遞入潔凈室，大致通過(guò)以下的步驟：
（1）在潔凈室外面的人員打開(kāi)傳遞窗的小門(mén)，對(duì)傳遞窗進(jìn)行清潔。
（2）打開(kāi)物品的一層包裝，將物品放入傳遞窗內(nèi)。
（3）關(guān)閉傳遞窗的小門(mén)。
（4）在傳遞窗另一邊的人員打開(kāi)傳遞窗的內(nèi)門(mén)，取出物品。對(duì)取出的物品進(jìn)行清潔。在污染控制要求嚴(yán)格的場(chǎng)合，則再打開(kāi)物品的另一層包裝。
傳遞窗一般都帶有電子或機(jī)械聯(lián)鎖裝置，防止兩個(gè)小門(mén)被同時(shí)打開(kāi)，這樣可防止外部空氣流入潔凈室。有時(shí)將傳遞窗建在與地面水平的位置，便于較重的物品通過(guò)。
而將材料移出移入生物潔凈室，則要使用高壓釜、熱氣爐這類(lèi)的滅菌裝置。這類(lèi)滅菌裝置也裝備有雙門(mén)，以提高效率。傳遞材料時(shí)，先將外側(cè)的門(mén)打開(kāi)，將未經(jīng)滅菌的材料放入滅菌器內(nèi)。門(mén)關(guān)閉后，滅菌器開(kāi)始其滅菌程序。滅菌程序完成后，打開(kāi)滅菌器位于潔凈室一側(cè)的門(mén)，將經(jīng)過(guò)滅菌的材料取出。也可以使用滅菌隧道，對(duì)自外部進(jìn)入潔凈室內(nèi)的容器進(jìn)行滅菌。
4、固定設(shè)備運(yùn)入的機(jī)械
如有可能，大型設(shè)備應(yīng)該臨時(shí)拆卸為能安全進(jìn)入潔凈室的組件，使?jié)崈羰以O(shè)備運(yùn)入過(guò)程的風(fēng)險(xiǎn)降低。因?yàn)檫@些大型裝設(shè)搬運(yùn)中，與潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面接觸時(shí)，可能發(fā)生磨損、撞傷，并產(chǎn)生污染。
所有用于大設(shè)備、組件的提升、牽引或定位的設(shè)備，在進(jìn)入潔凈室前必須*清潔。這類(lèi)設(shè)備多數(shù)不是專(zhuān)為潔凈室使用而設(shè)計(jì)、制造的，應(yīng)*檢驗(yàn)有無(wú)膜屑，表面剝落狀況或不宜進(jìn)入潔凈室的材料。
5、固定設(shè)備的安裝程序
有效的措施是在設(shè)備安裝階段用臨時(shí)的隔墻或隔斷把設(shè)備所在位置與潔凈室隔離開(kāi)。為不妨礙設(shè)備安裝，在設(shè)備周?chē)鷳?yīng)留出足夠的空間，但同時(shí)也要注意隔離區(qū)空間適度，不宜過(guò)大。
ISO 14644-5“運(yùn)行篇”建議的操作程序及其它注意事項(xiàng)如下：
（1）設(shè)備應(yīng)盡可能通過(guò)服務(wù)通道或其它非關(guān)鍵區(qū)進(jìn)入隔離區(qū)，如不可能則應(yīng)采取措施盡量減少污染。例如，只有通過(guò)相鄰的潔凈室才能進(jìn)入隔離區(qū)時(shí)，應(yīng)該采用粘墊除掉鞋底附著的污染物，進(jìn)入隔離區(qū)后，要求使用一次性靴子或鞋套，以避免污染潔凈服。離開(kāi)隔離區(qū)時(shí)要脫下這些一次性物品。
（2）該隔離區(qū)的氣壓相對(duì)于周邊應(yīng)維持中性或負(fù)壓。*封閉的隔離區(qū)則應(yīng)該截?cái)鄥^(qū)內(nèi)的潔凈空調(diào)送風(fēng)，以減少安裝時(shí)產(chǎn)生的污染物向外擴(kuò)散。
（3）應(yīng)該事先制定計(jì)劃，明確對(duì)隔離區(qū)和周?chē)鷧^(qū)域監(jiān)控的方法和頻率，確保能及時(shí)發(fā)現(xiàn)污染物由隔離區(qū)向外滲透的情況。
（4）設(shè)備就位后，在架設(shè)各種動(dòng)力設(shè)施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和排水管道時(shí)，應(yīng)采取措施控制操作過(guò)程中產(chǎn)生的煙氣和殘?jiān)?，避免污染周?chē)臐崈羰遥灿兄跍p輕拆除隔斷時(shí)的清潔工作量。
（5）在設(shè)備安裝工作完成后，應(yīng)采用認(rèn)可的潔凈程序。清除隔離區(qū)內(nèi)的污染，墻、地面、設(shè)備等所有表面都要用真空吸塵器清掃、清理和擦拭。要特別注意設(shè)備護(hù)板后面和下面區(qū)域的清潔。
（6）在隔離區(qū)清潔工作完成后，可以進(jìn)行設(shè)備的試運(yùn)行和設(shè)備性能的初步測(cè)試，但后驗(yàn)收的測(cè)試，則需要*具備潔凈室的條件方可。
（7）選定對(duì)潔凈室內(nèi)的正常工作干擾少的時(shí)間拆除隔斷墻。在小心拆除隔斷墻的同時(shí)，隔離區(qū)內(nèi)原被臨時(shí)阻斷的送風(fēng)口，開(kāi)始恢復(fù)送入潔凈空氣。此過(guò)程中，宜于隨時(shí)監(jiān)測(cè)周邊離子濃度的變化。
（8）清理隔斷后，設(shè)備所處位置恢復(fù)潔凈室正常狀態(tài)，開(kāi)始對(duì)設(shè)備內(nèi)部和關(guān)鍵工序部位進(jìn)行進(jìn)一步清潔和作投入使用的準(zhǔn)備。
（9）對(duì)設(shè)備所有內(nèi)腔和所有與產(chǎn)品接觸表面，也包括產(chǎn)品裝卸的表面，都要進(jìn)行擦拭，使之達(dá)到要求的潔凈度水平。設(shè)備清潔順序應(yīng)是從頂?shù)降住Ｈ绻鍧嵾^(guò)程中有顆粒物散出，則較大的粒子在重力作用下將落到設(shè)備底部或地面。
（10）再次清潔設(shè)備外部，其順序也是從頂至底。
（11）必要時(shí)，應(yīng)檢查產(chǎn)品或工藝要求非常關(guān)鍵區(qū)域的表面粒子情況。
6、固定設(shè)備的維護(hù)與維修
任何設(shè)備都需要定期維護(hù)或臨時(shí)維修。ISO 14644-5“運(yùn)行篇”對(duì)此項(xiàng)工作的指導(dǎo)原則是：（1）如有可能，凡要進(jìn)行維修的設(shè)備應(yīng)先移出潔凈室再維修，以減少污染產(chǎn)生的可能性。
（2）如必要應(yīng)將需要維護(hù)的固定設(shè)備與周?chē)臐崈羰腋綦x開(kāi)來(lái)，再進(jìn)行主要的維護(hù)或維修?；蛘卟扇“阉姓谥圃斓漠a(chǎn)品移往適當(dāng)位置的措施。
（3）與正在維護(hù)、維修設(shè)備相鄰的潔凈室區(qū)域，應(yīng)適當(dāng)加強(qiáng)監(jiān)控，以保證有效的控制污染。
（4）在隔離區(qū)內(nèi)進(jìn)行維修、維護(hù)的工作人員，不應(yīng)與潔凈室的生產(chǎn)或操作人員發(fā)生接觸。
（5）進(jìn)入潔凈室的維護(hù)或維修人員，應(yīng)遵循該潔凈區(qū)的規(guī)范，包括穿著工作服及維修完成后對(duì)該區(qū)和設(shè)備清潔應(yīng)達(dá)到要求。
（6）如果技術(shù)人員需要躺下或爬到設(shè)備下面維修，應(yīng)該先確定工作條件是否適宜，應(yīng)在進(jìn)行化學(xué)品或生物危險(xiǎn)品有效中和或適當(dāng)處理后，再開(kāi)始維修工作。
（7）應(yīng)采取措施保證維修人員的潔凈度不接觸到設(shè)備的潤(rùn)滑油或工藝用化學(xué)品等污染物，還應(yīng)避免潔凈服被設(shè)備、工作的銳邊撕裂。
（8）進(jìn)行維護(hù)或維修工作用的全部工具、工具箱、小車(chē)等，在進(jìn)入潔凈室前都應(yīng)*清潔，不允許帶入任何銹蝕的工具。如果進(jìn)入生物潔凈室，則還可能要求滅菌或消毒。
（9）維修技術(shù)人員應(yīng)避免把工具、各種零配件、損壞的零部件或清潔用的工具材料等任何物品，放置在產(chǎn)品或工藝材料用的工作表面附近。
（10）維修工作過(guò)程中應(yīng)該隨時(shí)進(jìn)行清潔工作，定期更換手套，避免因手套破損，維修人員的皮膚接觸設(shè)備潔凈表面的情況發(fā)生。
（11）如果要求使用耐酸、耐熱或耐切割型的非潔凈室手套，那么這些手套應(yīng)符合潔凈室要求或另套一副潔凈室手套。
（12）如需進(jìn)行鉆、鋸作業(yè)時(shí)，應(yīng)使用罩蓋，把工具和進(jìn)行鉆、鋸的區(qū)域遮蔽起來(lái)，同時(shí)使用潔凈室真空除塵器，及時(shí)吸走揚(yáng)塵。
（13）在地面、墻面、設(shè)備側(cè)板或其它表面鉆孔后，留下的縫隙、孔洞，要采取密封措施。如用填料、粘合劑和特殊制造的板堵塞，以防止污染物經(jīng)孔洞、縫隙擴(kuò)散到潔凈室內(nèi)。