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臺式自動化掃描電鏡在鋁箔檢測中的應(yīng)用
壓延鋁箔是鋰電池鋁塑膜的核心材料,要求成分純度在 98% 以上。Al 表面會形成具有保護(hù)作用的致密氧化膜,如果 Al 箔的成分不純,會導(dǎo)致表面膜不致密而發(fā)生點(diǎn)腐蝕的現(xiàn)象,嚴(yán)重則會造成表面膜破壞,生成 LiAl 合金,進(jìn)而影響集流體的穩(wěn)定性。因此,對鋁箔的品質(zhì)把控,其微觀形貌的檢測是重點(diǎn)內(nèi)容之一,主要包括內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀察和表面清潔度檢測。
內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀察
鋁箔相對較薄,通常厚度在 6-15 微米之間。因此為了觀測鋁箔內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu),以確定內(nèi)部是否存在不良現(xiàn)象,通常需要對鋁箔進(jìn)行特殊的制樣處理。此時,通常使用離子研磨儀對鋁箔進(jìn)行表面拋光處理,結(jié)合飛納臺式掃描電鏡,以觀察到 Al 真實的晶型情況。
經(jīng)過離子研磨制樣處理后的鋁箔,可以清晰直觀地看出鋁箔內(nèi)部的結(jié)晶情況。
鋰電池用鋁箔(14,000X)
清潔度檢測
鋁箔表面異常種類多樣,位置隨機(jī),如孔洞,劃痕,臟污等,這些不良會影響鋁箔的使用性能,因此需要對鋁箔進(jìn)行全面的清潔度檢測。
1. 手動檢測孔洞
2. 手動檢測各種劃痕
3. 手動檢測油污
由于鋁箔表面異常類型多樣,位置也具有隨機(jī)性,因此手動檢測時,通常需要具有豐富經(jīng)驗的電鏡操作人員進(jìn)行長時間的作業(yè),具有一定的誤檢、漏檢風(fēng)險。
為了解決這一問題,除了可以作為常規(guī)手動分析的掃描電鏡,Phenom ParticleX 全自動清潔度檢測系統(tǒng) ,基于掃描電鏡和能譜儀為硬件基礎(chǔ),可以對大面積范圍的鋁箔進(jìn)行自動化的掃描、識別、分析,應(yīng)對孔洞、劃痕、異物顆粒等,可以提供快速、準(zhǔn)確和可靠的定量數(shù)據(jù)支持,此外,對于識別到的異常位置,可以一鍵回看,并支持導(dǎo)出詳細(xì)的數(shù)據(jù)報告。
以上圖片截取自一鍵獲取的數(shù)據(jù)報告。Phenom ParticleX 能自動識別異常位置,分析內(nèi)容包含掃描電鏡(SEM)圖、能譜結(jié)果、分類等。