產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)技術(shù)參數(shù)
BTF-1200C-III-SL-4ZL | |
尺寸 | 1080×440×590mm ( 爐子)/2000×490×760mm ( 爐子+滑軌) |
爐管尺寸 | ?50/?60/?80/?100/?130*2330mm(各管徑可選) |
加熱區(qū)長度 | 300+300+300mm(900mm) |
恒溫區(qū)長度 | 500mm |
工作溫度 | 1100℃ |
最高溫度 | 1200攝氏度 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
推薦升溫速率 | 10-20℃/min |
額定電壓 | AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz |
額定功率 | 7KW |
供氣系統(tǒng) | |
外形尺寸 | 600x600x650mm |
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2) | 100、200、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制) |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S. |
線性 | ±0.5~1.5%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. |
響應(yīng)時間 | 氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1~0.5 MPa |
最大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
壓力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
低真空機(jī)組 | |
工作環(huán)境 | 5℃~40℃ |
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽氣速率 | 10m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)