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          安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>CVD系統(tǒng)>> BTF-1200C-II-SL大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)

          大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)

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          • 大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)
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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 型號 BTF-1200C-II-SL
          • 品牌 其他品牌
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 合肥市
          在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

          更新時間:2021-09-27 23:30:37瀏覽次數(shù):1881

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          產(chǎn)品簡介

          產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子,綜合
          BTF-1200C-III-SL-4ZL大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能.

          詳細(xì)介紹

          大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)技術(shù)參數(shù)

          BTF-1200C-III-SL-4ZL

          尺寸

          1080×440×590mm ( 爐子)/2000×490×760mm ( 爐子+滑軌)

          爐管尺寸

          ?50/?60/?80/?100/?130*2330mm(各管徑可選)

          加熱區(qū)長度

          300+300+300mm(900mm)

          恒溫區(qū)長度

          500mm

          工作溫度

          1100℃

          最高溫度

          1200攝氏度

          控溫方式

          模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

          控溫精度

          ±1℃

          推薦升溫速率

          10-20℃/min

          額定電壓

          AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

          額定功率

          7KW

          供氣系統(tǒng)

          外形尺寸

          600x600x650mm

          連接頭類型

          雙卡套不銹鋼接頭

          標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

          100、200、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

          準(zhǔn)確度

          ±1.5%F.S.

          線性

          ±0.5~1.5%F.S

          重復(fù)精度

          ±0.2%F.S.

          響應(yīng)時間

          氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

          工作壓差范圍

          0.1~0.5 MPa

          最大壓力

          3MPa

          接口

          Φ6,1/4''

          顯示

          4位數(shù)字顯示

          工作環(huán)境溫度

          5~45高純氣體

          內(nèi)外雙拋不銹鋼管

          Φ6

          壓力真空表

          -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

          截止閥

          Φ6

          低真空機(jī)組

          工作環(huán)境

          5℃~40℃

          空氣相對濕度

          ≤85%

          工作電電壓

          220V±10% 50~60HZ

          功率

          1KW

          抽氣速率

          10m3/h

          極限真空

          5X10-1Pa

          工作壓力范圍

          1.01325X105~1.33X10-2Pa

          耐壓值

          0.03MPa

          容油量

          1.1L

          進(jìn)氣口口徑

          KF25

          排氣口口徑

          KF25

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