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紫外臭氧清洗機(jī)清洗是一個干燥的過程。而紫外臭氧清洗機(jī)內(nèi)會配備臭氧清除裝置，廢氣臭氧在系統(tǒng)內(nèi)分解，不會造成清潔室內(nèi)的臭氧含量過高從而產(chǎn)生危害。紫外臭氧清洗機(jī)也可配置成連續(xù)加載的清洗線，并可與DI水沖洗系統(tǒng)耦合，清除表面的顆粒。應(yīng)用范圍十分廣泛，在現(xiàn)代信息技術(shù)行業(yè)中使用光清洗技術(shù)比較普遍，隨著我國工業(yè)現(xiàn)代化的發(fā)展，光清洗和光改質(zhì)技術(shù)還將逐步應(yīng)用于金屬、塑料、橡膠等工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域。
紫外臭氧清洗機(jī)的工作原理:
通過產(chǎn)生185nm和254nm高強(qiáng)度UV光分解有機(jī)分子(污染物)。185nm波長紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(02)分解成臭氧(03)，而254nm波長的紫外光的光能量能將03分解成02和活性氧(0)。在連續(xù)進(jìn)行的光敏氧化反應(yīng)中，生成的活性氧原子與活化了的有機(jī)物(即碳?xì)浠衔?分子發(fā)生氧化反應(yīng)，生成揮發(fā)性氣體(如C02，CO，H20,NO等)逸出物體表面，從而清除粘附在物體表面上的有機(jī)污染物，達(dá)到清洗的目的。
紫外臭氧清洗機(jī)的應(yīng)用案例包括:表面清潔、薄膜沉積、紫外光刻、表面殺菌、AFM/STM探針清潔、UV化學(xué)反應(yīng)、光學(xué)部件的清潔、改善樣品表面親水性、去除表面單分子層、表面氧化、表面刻蝕/縮微成像等。
