詳細(xì)介紹
主要特點
★基于電離電荷的采樣技術(shù)
上海真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我廠專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此,我廠*了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準(zhǔn)確性。
★漏電電流的處理
對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性,并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。
★內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時,其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測量,對每一種真空滅弧室必須有對應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。
關(guān)鍵詞:上海真空度測試儀,上海真空度測試儀,上海真空度測試儀
我廠 的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過數(shù)學(xué)處理,將其特征參數(shù)送入ZKY-2000系列產(chǎn)品。因此,ZKY-2000系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線。
這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中*的。
★完善的輸入保護電路
當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時,測量時真空滅弧室會被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上,使其承受十分強的電沖擊。ZKY-2000的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護電路,即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時工作不正常時(重新開機即可),也不會造成電路部分的損壞。
上海真空度測試儀技術(shù)參數(shù)
▲測量范圍: 1*10-5~1*10-1pa
▲測量誤差: l*l0-4~1*l0-1pa中誤差<5%
▲測量分辨率: 10-5pa
▲允許環(huán)溫: O℃~55℃
▲空氣濕度: <85%RH
▲電 源: AC220士10%
▲外型尺寸: 430X300X235mm
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