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紅外光譜儀/顯微鏡

光譜分析儀

產(chǎn)地類別	進口	應用領域	化工,石油,電子,交通,汽車

布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡在*技術節(jié)點上，利用多圖案光刻技術對CMP提出了納米工藝控制要求，以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞新一代的AFM掃描儀構建，可在65μmX / Y掃描范圍內(nèi)提供小于10納米的改進平面度。

詳細介紹

布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡

InSight CAP緊湊型原子探查器

基于生產(chǎn)的深度計量

布魯克的InSight CAP自動原子力輪廓儀專門設計用于半導體制造商和供應商的CMP和蝕刻計量的組合平臺。InSight CAP系統(tǒng)具有300毫米自動處理功能和久經(jīng)考驗的GEM工廠自動化軟件。

InSight CAP提供

CMP和蝕刻的行業(yè)的精度和分辨率
無需模型的無損計量
在線計量只需幾分鐘即可完成，適用于技術開發(fā)
占地面積小，配置靈活，可實現(xiàn)擁有成本

布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡計量

在*技術節(jié)點上，利用多圖案光刻技術對CMP提出了納米工藝控制要求，以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞一代的AFM掃描儀構建，可在65μmX / Y掃描范圍內(nèi)提供小于10納米的改進平面度。該系統(tǒng)的NanoScope®V 64位AFM控制器提供5倍的接合性能和5倍的調(diào)諧速度，以提高生產(chǎn)率，同時還具有增強的可靠性。其DT自適應掃描模式還有助于加快掃描速度并改善計量。憑借其*功能的結合，InSight CAP高分辨率輪廓儀可實現(xiàn)埃級精度，以測量宏觀凹陷和腐蝕。

Insight CAP圖