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Keithley 4200A-SCS半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)使用 4200A-SCS 加快半導(dǎo)體設(shè)備、材料和工藝開發(fā)的探索、可靠性和故障分析研究。高性能參數(shù)分析儀，提供同步電流-電壓（I-V）、電容-電壓（C-V）和超快脈沖 I-V 測量。

Keithley 4200A-SCS半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)概述

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
參數(shù)查看，快速清晰。

大膽發(fā)現(xiàn)從未如此容易。 4200A-SCS 參數(shù)分析儀可將檢定和測試設(shè)置的復(fù)雜程度降低高達(dá) 50%，提供清晰且不折不扣的測量和分析功能。另外，嵌入式測量專業(yè)知識可提供測試指南并讓您對結(jié)果充滿信心。

特點

內(nèi)置測量視頻采用英語、中文、日語和韓語
使用數(shù)百個用戶可修改應(yīng)用測試開始您的測試
自動實時參數(shù)提取、數(shù)據(jù)繪圖、算數(shù)函數(shù)

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
測量、切換、重復(fù)。

4200A-CVIV 多通道切換模塊自動在 I-V 和 C-V 測量之間切換，無需重新布線或抬起探頭端部。與競爭產(chǎn)品不同，四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本地可視查看，可快速完成測試設(shè)置，并在出現(xiàn)意想不到的結(jié)果時輕松排除故障。

特點

無需重新布線即可將 C-V 測量移動到任何設(shè)備終端
用戶可配置低電流功能
個性化輸出通道名稱
查看實時測試狀態(tài)

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
檢定、自定義。

簡單地說，4200A-SCS 可以*自定義且全面升級，您可以對半導(dǎo)體設(shè)備、新材料、有源/無源組件、晶片級可靠性、故障分析、電化學(xué)或幾乎任何類型的樣本執(zhí)行電氣檢定和評估。

特點

NBTI/PBTI 測試
隨機(jī)電報噪聲
非易失內(nèi)存設(shè)備
穩(wěn)壓器應(yīng)用測試

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
帶分析探測器和低溫控制器的集成解決方案。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀支持許多手動和半自動晶片探測器和低溫控制器，包括 Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。

特點

“點擊”測試定序
“手動”探測器模式測試探測器功能
假探測器模式無需移除命令即可實現(xiàn)調(diào)試

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
降低成本并保護(hù)您的投資

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Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀規(guī)格

型號	說明
4200A-SCS-PK1 高分辨率 IV 套件	210V/100mA，0.1 fA 分辨率對于兩端和三端設(shè)備，MOSFET、CMOS 檢定套件4200A-SCS-PK1 包括： 4200A-SCS 參數(shù)分析儀 (2) 4200-SMU 模塊 (1) 4200-PA 前置放大器 (1) 8101-PIV 測試夾具與采樣設(shè)備
4200A-SCS-PK2 高分辨率 IV 和 CV 套件	210V/100mA，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 對于高 K 電解質(zhì)，深亞微米 CMOS 檢定套件4200A-SCS-PK2 包括： 4200A-SCS 參數(shù)分析儀 (2) 4200-SMU 模塊 (1) 4200-PA 前置放大器 (1) 4210-CVU 電容-電壓模塊 (1) 8101-PIV 測試夾具與采樣設(shè)備
4200A-SCS-PK3 高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件	210V/1A，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 對于功率設(shè)備、高 K 電解質(zhì)，深亞微米 CMOS 設(shè)備檢定套件4200A-SCS-PK3 包括： 4200A-SCS 參數(shù)分析儀 (2) 4200-SMU 模塊 (2) 4210-SMU (1) 4200-PA 前置放大器 (1) 4210-CVU 電容-電壓模塊 (1) 8101-PIV 測試夾具與采樣設(shè)備
4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件	用于使用 CMOS 技術(shù)套件進(jìn)行復(fù)雜的 NBTI 和 PBTI 測量4200-BTI-A 包括： (1) 4225-PMU 超快 I-V 模塊 (2) 4225-RPM 遠(yuǎn)程前置放大器/開關(guān)模塊自動化檢定套件 (ACS) 軟件超快 BTI 測試項目模塊電纜

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀應(yīng)用

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
半導(dǎo)體可靠性

在執(zhí)行復(fù)雜的可靠性測試時，4200A-SCS 可以幫您處理復(fù)雜的編碼工作。內(nèi)含熱載波注入劣化 (HCI) 等項目，使您能夠快速開始設(shè)備分析。

特點

只需一組測試，即可滿足您的直流 I-V、C-V 和脈沖測量需求
支持多種探頭站和外部儀器
循環(huán)系統(tǒng)易于使用，允許在無需編碼的情況下重復(fù)測試

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
提供適合高阻抗應(yīng)用的 C-V 測量功能

采用 Keithley 的自定義極低頻 C-V 技術(shù)分析高電阻樣本的電容。該技術(shù)可通過僅使用源測量單元 (SMU) 儀器實現(xiàn)應(yīng)用，同時可與 4210-CVU 結(jié)合使用，執(zhí)行更高頻率測量。

特點

.01 ~ 10 Hz 頻率范圍，1 pF ~ 10 nF 靈敏度
3½ 位典型分辨率，小典型值 10 fF

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
非易失內(nèi)存

通過全面脈沖 I-V 檢定在測試中利用新技術(shù)。 4200A-SCS 為 NVRAM 技術(shù)提供支持和即用型測試，從浮動門電路閃存到 ReRAM 和 FeRAM，不一而足。電流和電壓雙源和測量功能同時支持瞬態(tài)和 I-V 域檢定。

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
VCSEL 測試

4200A-SCS 中的多個并行源測量單元 (SMU) 儀器可簡化激光二極管測試。僅使用一臺機(jī)器連接即可生成 LIV（光強(qiáng)-電流-電壓）曲線。高級探頭站和開關(guān)支持使您能夠使用相同的儀器對單個二極管或整個陣列進(jìn)行晶圓生產(chǎn)測試。 SMU 可配置為高達(dá) 21 W 容量，適用于多種連續(xù)波 (CW) VCSEL 應(yīng)用。

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
納米級設(shè)備檢定

4200A-SCS 的集成儀器功能可簡化碳納米管等納米級電子器件開發(fā)方面的測量要求。從預(yù)配置測試項目開始著手，逐步擴(kuò)大您的研究工作范圍。 SMU 的脈沖源模式可幫助緩解過熱問題，數(shù)秒內(nèi)即可完成與低電壓 C-V 和超快速脈沖直流測量的組合。

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
材料電阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS，可通過四點同軸探頭或范德堡法輕松測量電阻率。內(nèi)含測試可自動重復(fù)執(zhí)行范德堡計算，節(jié)省您寶貴的研究時間。10aA 的大電流分辨率和大于 1016 歐姆的輸入阻抗可提供更準(zhǔn)確的結(jié)果。

Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
MOSFET 檢定

4200A-SCS 可容納所有必要的儀器，用于通過組件或晶圓測試執(zhí)行全面的 MOS 設(shè)備檢定。內(nèi)含測試和項目可以解決 MOSCap 的氧化物厚度、門限電壓、摻雜濃度、移動離子濃度等問題。只需觸摸一個儀器盒中的按鈕，即可運(yùn)行所有這些測試。