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          Huace-4簡易探針臺的產品特點及應用

          閱讀:611        發(fā)布時間:2023/9/12
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          Huace-4簡易探針臺

           

          產品簡介:

          探針臺是一種輔助執(zhí)行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。

           

          產品特點及應用:

          ◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等;

          ◆ 可用于6英寸以內樣品測試;

          ◆ 同軸絲杠傳動結構,線性移動;

          ◆ 可放置于手套箱內使用;

          ◆ 形狀輕巧,操作方便,價格實惠。

           

          技術參數

          臺體規(guī)格

          尺寸

          4英寸/6英寸

          水平旋轉

          360°旋轉,可微調15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置

          X-Y移動行程

          2英寸×3英寸

          X-Y移動精度

          10μm

          樣品臺Z軸調節(jié)

          可升降10mm

          樣品固定

          真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)

          針座平臺

          左右各一個針座平臺,**可放置6個探針座

          背電極測試

          樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極

          外形尺寸

          400mm長*380mm寬*500mm高

          設備重量

          20KG

           

          光學系統(tǒng)

          顯微鏡類型

          單筒顯微鏡/體式顯微鏡

          放大倍率

          16X-200X

          移動行程

          水平方向繞立柱360°旋轉,Z軸50.8毫米

          光源

          外置LED無極調節(jié)亮度環(huán)形光源

          CCD

          200萬像素/500萬像素/1200萬像素


           

          定位器

          X-Y-Z移動行程

          12mm*12mm*12mm

          移動精度

          10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

          吸附方式

          磁力吸附,真空吸附

          線纜

          同軸線/三軸線

          漏電精度

          10pA/100fA/10fA

          固定探針

          彈簧固定/管狀固定

          接頭類型

          BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

          針尖直徑

          0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

          針尖材質

          鎢鋼;鈹銅

           

          可選附件:

          加熱臺;
          顯示器;
          轉接頭;
          射頻測試配件;

          屏蔽箱;

          光學平臺;
          鍍金卡盤;
          光電測試配件;

           

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