立式真空電阻爐由主體反應(yīng)爐（帶冷凝收集器）、機械真空泵及測量、電控柜及相關(guān)聯(lián)接組成。
主體反應(yīng)爐采用石墨發(fā)熱體加熱，鉑銠熱電偶測溫，精密程序控溫儀+可控硅+變壓器控溫，Z高溫度達(dá)1600℃，控溫精度為±1℃；主體反應(yīng)爐同時帶冷凝收集器，外殼具水冷功能。
設(shè)備外殼為不銹鋼，整個系統(tǒng)為真空密封，空爐冷態(tài)真空度達(dá)10Pa以內(nèi)，數(shù)顯真空測量范圍102～10-1Pa。

 立式真空電阻爐由主體反應(yīng)爐（帶冷凝收集器）、機械真空泵及測量、電控柜及相關(guān)聯(lián)接組成。
主體反應(yīng)爐采用石墨發(fā)熱體加熱，鉑銠熱電偶測溫，精密程序控溫儀+可控硅+變壓器控溫，Z高溫度達(dá)1600℃，控溫精度為±1℃；主體反應(yīng)爐同時帶冷凝收集器，外殼具水冷功能。
設(shè)備外殼為不銹鋼，整個系統(tǒng)為真空密封，空爐冷態(tài)真空度達(dá)10Pa以內(nèi)，數(shù)顯真空測量范圍102～10-1Pa。

主要技術(shù)參數(shù)如下：

1、溫度：1000℃、1200℃、1400℃、1600℃、2000℃；

2、真空度：-0.1Mpa、6.67×10^-2Pa；

3、形式：立式頂開蓋；

4、加熱方式：內(nèi)熱式；

5、觀察孔。

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