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        1. 上海添時科學(xué)儀器有限公司

          PRODUCT DISPLAY

          當前位置:上海添時科學(xué)儀器有限公司>>合肥科晶總代理>>等離子清洗機系列>> PDC-0016等離子清洗機

          6等離子清洗機

          參  考  價:面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準

          產(chǎn)品型號:PDC-001

          品       牌:

          廠商性質(zhì):代理商

          所  在  地:上海市

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          更新時間:2024-08-17 19:27:55瀏覽次數(shù):3966次

          聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
          PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機,其等離子腔體尺寸為 6“dia x 6.5“。特別適合對有機物和基片表面進行清洗,同時可以向腔體通入不同的氣體(如氧氣和惰性氣體等),從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進行預(yù)處理,此款設(shè)備極為理想。
              PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機,其等離子腔體尺寸為6"diax6.5"。特別適合對有機物和基片表面進行清洗,同時可以向腔體通入不同的氣體(如氧氣和惰性氣體等),從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進行預(yù)處理,此款設(shè)備極為理想。

              技術(shù)參數(shù)

           

          輸入功率 

           

           AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 

           

          輸出頻率

           

           13.56 MHz

           

          功率

          • 低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 
          • 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 
          • 高檔740V DC 40 mA DC 30 W 

           

          等離子腔體 

           

          尺寸:6" dia x 6.5" l 石英腔體

           

          真空泵和閥

          • 儀器中包括有一雙極旋片泵,2XZ-2,抽氣速率為2L/s, 
          • 泵上安裝有一個不銹鋼針閥,其接口為寶塔嘴接頭

           

          通入的氣體 

           

          腔體中可以通入多種氣體,如N2, Ar, Air ,也可以通入多種混合氣體,以滿足實驗需要 ,不可以通入可燃性氣體進入等離子腔體中

           

          可選配件

          • 如果基片的直徑為2"4",可以選購石英架,每個石英架上可以放25片
          • 數(shù)字式真空顯示計,可以精確顯示石英腔體內(nèi)的真空度

          可選真空計

           

          • 可選本公司生產(chǎn)研發(fā)的電阻真空計
          • 此款真空計是以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下體現(xiàn)的熱傳導(dǎo)特性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器,特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空度測量。
              

           

          外型尺寸

           

          11" H x 18" W x 9" D 

           

          細節(jié)圖

           

           

           

           

           

           

           

          質(zhì)保期

           

          一年質(zhì)保  ( 不包括石英腔體和密封圈

           

          質(zhì)量認證

           

            CE Certified

           

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