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半柜式/全柜式清洗機
清洗機，用于沖洗過濾液壓系統(tǒng)在制造、裝配、使用過程及維護時生成或侵入的污染物；也可以適用于對工作油液的定期維護過濾，提高清潔度，避免或減少因污染而造成的故障，從而保證液壓系統(tǒng)設備的高性能、高可靠度和長壽命。
產品介紹
適合于8英寸及以下晶圓的單片清洗工藝
根據客戶要求可選配高壓、兆聲、二流體等多種清洗工藝
不銹鋼半柜式、柜式柜體,觸摸式人機交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業(yè)排風及排廢系統(tǒng)
可配置清洗液、氮氣溫控功能
可配置增壓泵高壓清洗
高精度清洗臂,可靈活設置清洗工藝
產品參數
旋轉速度范圍:20-3000rpm
加速度范圍:20-5000rpm/s
清洗管路：≤3
設備尺寸：1100mm(W)*600mm(D)*1100mm(H）
