主要特點(diǎn)

•真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。

•使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。

•根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán)，且更換方便簡(jiǎn)單。

•設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。

•電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

•50W/24V 直流電機(jī)

•適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）

 基

本

參

數(shù)

•電機(jī)功率：50W/24V

•速度范圍：500-10000rpm

•程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段

•增減速率設(shè)置：100rpm/s-2000rpm/s

•時(shí)間范圍：0-60s

•吸盤(pán)：Φ19mm、Φ60mm

進(jìn)氣口：

上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆

可選加熱部分：

上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測(cè)溫，數(shù)字溫控器控溫，最高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽(yáng)能電池等研究。

產(chǎn)品尺寸：450mm×280mm×340mm；

重量：20kg

可選配件：過(guò)濾器（真空泵用）

保修期：一年保修，終身技術(shù)支持。

標(biāo)準(zhǔn)配件：

1   真空吸盤(pán)（含O型圈）     2個(gè)

2 中心定位器（含4個(gè)定位柱） 1個(gè)

3 滴膠注射器（20ml）          1個(gè)

4 注射器支架                 1個(gè)

5 AP-1400V無(wú)油真空泵         1臺(tái)

6 橡膠管（含卡箍）         1根