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        1. 上海添時科學(xué)儀器有限公司

          BUSINESS

          當(dāng)前位置:> 供求商機> 3靶等離子濺射儀--VTC-16-3HD

          [供應(yīng)]3靶等離子濺射儀--VTC-16-3HD

          貨物所在地:上海上海市

          更新時間:2024-06-21 21:00:07

          有效期:2024年6月21日 -- 2024年12月21日

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          聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)

          VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片Z大尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

          技術(shù)參數(shù)

          輸入功率

          • 110V / 220V 通用
          • < 2000W (含真空泵)

          輸出功率

          • 1600VDC
          • 大電流50mA 

          樣品室

          石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

          加熱樣品臺

          • 一個外徑50 mm 的樣品臺可以移動三個位置 
          • 基片可以放在樣品臺上加熱溫度 500°C
          • PID控溫方式和觸摸屏面板,控溫精度+/-10°C 
          • 長濺射時間不可超過5分鐘

          控制面板

          • 控制面板為PLC,4.3觸摸屏
          • 一個控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置  基片加熱溫度

          可選
           

           

          • KF25 真空接口、卡箍,和600mm長不銹鋼波紋管
          • 120L/M旋片式真空泵(包含在儀器內(nèi))
          • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
          • 各種高純度金屬靶
          • 需要一個帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 (這個我們不提供)

          進氣口

           一個精密可調(diào)針閥安裝進氣口,以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進氣量



          靶材

           

           

          標(biāo)配靶材分別有

          • 金,銀,銅 靶材: 
          • 尺寸金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

                 銀靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

                 銅靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

          • 可選靶材點擊鏈接、
            Pt Ag target , Zinc tarhetD

           外形尺寸
           

           

          • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
          • 凈重:50KG

          質(zhì)保期

          一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,終身維護。

          質(zhì)量認證

             Certified

          操作視頻點擊查看

           

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