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        1. 上海添時科學儀器有限公司

          BUSINESS

          當前位置:> 供求商機> TCVD--OTF-1200X-S2-5-小型雙爐體滑動管式爐TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

          [供應]TCVD--OTF-1200X-S2-5-小型雙爐體滑動管式爐TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

          貨物所在地:上海上海市

          更新時間:2024-11-11 11:53:14

          有效期:2024年6月21日 -- 2024年12月21日

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          OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器Z高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱,Z大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
              OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱,大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。

              技術參數(shù)

          爐體結構 兩個爐體在一個滑動軌道上,爐體高工作溫度1200℃
          每個爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
          一個滑動軌道安裝在兩爐體底部,可手動推動爐體滑動
          儀器中配有不銹鋼密封法蘭
          總功率 2.5KW
          電壓 AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, (需要20A的空氣開關)
          高工作溫度 1200℃
          連續(xù)工作溫度 1100℃
          加熱&冷卻速率   加熱速率: 冷卻速率: 注意
           15°C/sec (RT - 150°C); 15°C/sec (1000 - 950°C); 大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動來實現(xiàn)的,將爐體加熱到目標溫度,然后滑動爐體到樣品位置來實現(xiàn)快速加熱。對樣品加熱后,滑動爐體,使樣品暴露在加熱區(qū)外,來實現(xiàn)快速冷卻
           10°C/sec (150°C - 250°C); 10°C/sec (950°C - 900°C);
            7°C/sec (250°C - 350°C); 7°C/sec (900°C - 850°C);
            4°C/sec (350°C - 500°C); 4°C/sec (850°C - 750°C);
            3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (750°C - 600°C);
            2°C/sec (550°C - 650°C); 1.5°C/sec (600°C - 500°C);
            1°C/sec (650°C - 800°C); 1°C/sec (500°C - 400°C);
            0.5°C/sec (800°C - 1000°C); 0.5°C/sec (400°C - 300°C);
          加熱區(qū)長度 每個爐體的加熱區(qū)為200mm
          恒溫區(qū) 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)
          加熱元件 摻鉬鐵鉻鋁合金
          爐管 高純石英管
          尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
          溫度控制系統(tǒng) 兩個爐體都采用PID方式來調節(jié)溫度,可設置30段升降溫程序。
          控溫儀表操作視頻
          設置有超溫和斷熱偶報警
          包括2個K型熱電偶(已安裝在爐體上)
          可選:可選擇控制模塊MTS-02,可使用電腦來控制爐體的升降溫
          真空法蘭 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭,法蘭上安裝有機械壓力表
          可選購KF25接口的法蘭(提高抽氣速率),數(shù)顯真空計
          滑軌長度 1200mm
          真空度 10E-5 torr(采用分子泵)
          10E-2 torr(采用機械泵)
          可在本公司選購真空泵
          可選 可選擇電動滑軌,更好的控制快速升降溫速率
          1-9通道質量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)
          100W-500W的射頻等離子源
          這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強的TCVD系統(tǒng)
          尺寸 1500 x 380 x 620 mm(爐體+滑軌)
          凈重 約80kg
          質保期 一年質保期,終身維護(不包括爐管、密封圈和加熱元件)
          質量認證 CE認證
          所有電器元件(輸入電壓>24V)都通過了UL/MET/CSA認證
          本公司保證此設備通過TUV(UL61010)或CSA認證(需額外出認證費用)
          使用注意事項 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
          由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
          進入爐管的氣體流量需小于200SCCM
          當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

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