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圖拉特真空計(jì)的應(yīng)用
閱讀：1215 發(fā)布時(shí)間：2023-10-20Thyracont提供智能型真空計(jì)，模擬輸出真空計(jì)以及便攜式現(xiàn)場檢測真空計(jì)。
Thyracont的數(shù)字Smartline™傳感器帶有現(xiàn)代組合傳感器，可在高真空范圍內(nèi)進(jìn)行測量，提供出色的可靠性和精度。除了經(jīng)典的模擬 0-10 V 輸出外，其數(shù)字接口 RS485、EtherCAT 和 PROFINET 還允許智能連接到 PLC。
圖拉特thyracont真空產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：
• 真空包裝：密封壓力的連續(xù)監(jiān)控(不能發(fā)現(xiàn)泄漏)
• 使用產(chǎn)品:
• 密封壓力的連續(xù)監(jiān)控(不能發(fā)現(xiàn)泄漏) à piezo gauge
• 在包裝內(nèi)的VD8密封 (傳輸數(shù)據(jù):泵后曲線、密封壓力、容器密封性)
• 真空干燥：用真空去除物質(zhì)(通常是濕固體)中的水分(真空降低水的沸點(diǎn))
• 干燥壓力(典型為幾mbar)
• 蒸汽滅菌室
• 使用產(chǎn)品:壓電表、皮拉尼表(VCP63MV可蒸汽滅菌!)
• 冷凍干燥：類似于真空干燥，但是:
• 無液體(冰直接升華為蒸汽)
• 更低溫度(低至-80°C) 和壓力(1e-2mbar – 1mbar)
• 使用產(chǎn)品:皮拉尼壓力表(VCP63MV可以蒸汽滅菌!)
• 真空爐
• 爐內(nèi)產(chǎn)品周圍用真空去除污染/氧化源(如C、O2)
• 典型工藝壓力: 1e-5mbar - 50mbar
• 使用產(chǎn)品: VSM, VSP
• 半導(dǎo)體行業(yè)
• 要求工藝:硅和SiO蒸氣/塵埃
• 使用產(chǎn)品:VSM, VSH
• 粗加工泵在旁路連接中抽真空，用于控制旁路循環(huán)，直到達(dá)到真空度，必須精確控制旁路中的絕對壓力，以防止損壞高真空系統(tǒng)，使用產(chǎn)品VSC43
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真空表優(yōu)勢：
• 具有16bar的超壓穩(wěn)定性，無需超壓閥，節(jié)約成本
• 響應(yīng)速度快，精度高
• 防護(hù)等級最高可達(dá)IP54
• 法蘭處耐溫度，高達(dá)160攝氏度
• 輸出信號:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet滿足不同的控制系統(tǒng)連接
• 100%氦氣泄漏測試
• 具有16bar的超壓穩(wěn)定性，無需超壓閥，節(jié)約成本
• 即插即用:
• 可更換傳感器
• 每個(gè)儀器發(fā)貨前都經(jīng)過調(diào)整和溫度校準(zhǔn)
• 優(yōu)化后的皮拉尼和熱陰極傳感器的過渡區(qū)。-不再有輸出峰值
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