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10.5 升的diener plasma低壓等離子清洗機(jī)為手動(dòng)型，配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng)，適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層。

特點(diǎn)：

·緊湊型設(shè)計(jì)，節(jié)省空間
·輸出功率最大 300W，連續(xù)可調(diào)
·7寸觸摸屏人機(jī)交互界面（PCCE控制）
·存儲(chǔ)5套工藝參數(shù)（PCCE控制）
·操作簡(jiǎn)單

用途

·用于不同材料表面的處理
·適合于研究所、高校、研發(fā)中心使用
·兼容8''及以下Wafer的表面處理

diener plasma低壓等離子清洗機(jī)產(chǎn)品參數(shù)：

選購品：?jiǎn)误w導(dǎo)入模塊、發(fā)泡瓶、石英腔體、石英托盤、鉸鏈門、數(shù)字/模擬計(jì)時(shí)器（手動(dòng)控制）、皮拉尼真空計(jì)、法拉第盒、H2泄漏檢測(cè)（PC控制）、溫度傳感器（PC控制）、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥