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InVue® GV148 液體濃度監(jiān)測器
集成一體的實(shí)時(shí)過程監(jiān)控系統(tǒng)
InVue®GV148液體濃度監(jiān)控器可以實(shí)時(shí)提供測量過程流體的濃度，用于化學(xué)混合、提升濃度和稀釋，無需中斷過程檢測。
InVue®GV148液體濃度監(jiān)控器集成在一個(gè)小型密封外殼中，可提供性價(jià)比高的濃度監(jiān)測，使前端（FEOL）、后端（BEOL）和工廠生產(chǎn)系統(tǒng)的工藝效率提高。這種工藝可以使過程控制更為嚴(yán)格， 從而提高工藝效率，減少成本投入，也減少廢料的產(chǎn)生。
用戶軟件強(qiáng)大
采用基于Windows®的HMI軟件應(yīng)用程序來支持 GV148配置和實(shí)時(shí)監(jiān)控。該軟件允許用戶:
·獲得實(shí)時(shí)折射率、流體溫度和濃度信息
·自定義折射率以及濃度切換
·獲取和分析化學(xué)品特定溫度補(bǔ)償?shù)臄?shù)據(jù)
·傳感器平衡操作
·查看當(dāng)前警告信息、系統(tǒng)事件和警告歷史信息
·折射率歸零
·配置模擬輸出
經(jīng)過驗(yàn)證的折射率檢測技術(shù)
GV148監(jiān)測儀采用經(jīng)過驗(yàn)證的折射率檢測技術(shù)，外觀小巧，可提供準(zhǔn)確、安全和可重復(fù)的液體濃度測量方法。在線傳感器可精確測量過程流體的折射率（IoR）和溫度。然后，我們將利用這些信息 來計(jì)算工藝中液體的濃度。
工作原理
使用折射率技術(shù)，當(dāng)光從平面玻璃或液體表面反 射到光電二極管檢測器（PDA）時(shí)，InVue®GV148 濃度監(jiān)測器開始工作。反射角是由液體與窗口之 間的折射率比決定的。定制的算法可以檢測反射 光強(qiáng)度的微小變化。這種可以反射幾何形狀的能 力和小型化設(shè)計(jì)是InVue®GV148的重大特點(diǎn)。
應(yīng)用領(lǐng)域
·H2 O2 溶液混合
·研磨液稀釋
·專有添加劑混合
·全球和本地循環(huán)監(jiān)控
·批量溶液混合監(jiān)控
·容器壽命檢測
·CMP后清潔溶液混合
功能與優(yōu)勢
| 基于折射率的測量 | 為過程控制提供實(shí)時(shí)濃度和溫度驗(yàn)證 快速響應(yīng)時(shí)間，用于即時(shí)偏差檢測 測量各種介質(zhì)中的濃度，包括非導(dǎo)電流體 非直接接觸式，保持化學(xué)物質(zhì)純度和潔凈度 符合在線工藝效率要求 |
| 含氟聚合物和藍(lán)寶石的超純潤濕表面 | 保持化學(xué)物質(zhì)的純度和潔凈 |
| 小巧型電子產(chǎn)品 | 最小化整體工具體積 輕松集成到新的和現(xiàn)有的工具空間 |
| HMI軟件 | 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)記錄和分析工具 允許為定制專有化學(xué)品濃度監(jiān)測 用于密切監(jiān)控系統(tǒng)事件，參數(shù)變化和警報(bào)歷史，包括詳細(xì) 的事件日志 |
| 多種通信選項(xiàng) | RS485、RS422、4-20mA 靈活滿足各種控制系統(tǒng) |
| 全密封傳感器 | 在惡劣的環(huán)境中依舊提供準(zhǔn)確性、可重復(fù)性和可靠性 |
| 背景光扣除算法 | 在背景光存在的情況下依舊保持高準(zhǔn)確性 |
| 傳感器無耗材 | 只需要最少的硬件和預(yù)防性維護(hù) |
| 鏡面清潔端口 | 便于手動(dòng)清潔藍(lán)寶石鏡面 |
| LED狀態(tài)燈 | 提供監(jiān)視器頻次、通信和錯(cuò)誤的指示 |
可選的N2/DI自動(dòng)* 原位鏡面清潔器 | 最大限度地減少維護(hù)停機(jī)時(shí)間，特別是在研磨液和親水性化學(xué)品中 |
*配備適當(dāng)?shù)拈y門和控制器
功能與優(yōu)勢
| 傳感器結(jié)構(gòu)材料 | 流動(dòng)池主體 | 聚四氟乙烯（PTFE）* |
| 光學(xué)鏡面 | 單晶藍(lán)寶石* | |
| 電纜護(hù)套 | 聚氯乙烯（PVC） | |
| 閥蓋、外殼 | 聚偏氟乙烯（PVDF） | |
| 安裝板 | 聚丙烯（PP） | |
| 電器設(shè)備 | 電纜連接 | 19 pin Turck® male |
| 額定電流 | 啟動(dòng)時(shí)1.0A ; 操作期間0.5A | |
| 主電壓輸入 | 24 VDC | |
| IO電壓輸入 | 12 ? 24 VDC | |
| 短路保護(hù) | 是 | |
| 外部LED | 4 | |
| 模擬輸出 | 4 ? 20 mA 濃度、流體溫度、折射率（RI） | |
| 離散數(shù)字輸入 | 2 | |
| 離散數(shù)字輸出 | 最大 2.80 mAdc (各個(gè)部件) | |
| 復(fù)位 | 數(shù)字輸入、串行命令或HMI軟件 | |
| 串行通信 | 最大壓力 | 80psi 40℃(104°F) |
| 工藝流體溫度范圍 | 20°C to 40°C(68°to104°F) | |
| 環(huán)境溫度范圍 | 20°C to 35℃(68°to95°F) | |
| 儲存溫度范圍 | -15°C to 40°C(5°to 104°F) | |
| 折射率檢測 | 折射率檢測范圍** | 1.32-1.40 nD |
| 準(zhǔn)確性 | ±2×10-4nD(@20℃[68°F]from 1.332987-1.4000 nD) | |
| 重復(fù)性 | 5×10-5nD(@20°C [68°F]透明液體中) | |
| 精度 | 3×10-6nD(@20°C[68°F]純水中) | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <3sec 對63%穩(wěn)態(tài)變化的非平均響應(yīng)時(shí)間 | |
| 趨勢變化 | <5×10-5nD/30days(@20℃[68°F]) | |
| 壓力敏感度（典型） | 8×103 nD/psig(@20°C[68°F]純水中) | |
| 符合ROHS標(biāo)準(zhǔn) | 符合 | |
| 附件 | IP54 | |
| 培訓(xùn) | 一次 | |
*親水性的組件
**對于折射率超出此范圍的流體，請聯(lián)系奧法美嘉
配置
| 入口/出口連接端口 | 尺寸 | ||
| A | B | C | |
| 1/4"Flaretek管配件 | 114.6mm(4.51") | 33.0mm(1.30") | 111.0mm(4.37") |
| 3/8Flaretek管配件 | 117.7mm(4.64") | 34.7mm(1,.37") | 113.5mm(4.47") |
| 1/2"Flaretek管配件 | 120.9mm(4.76") | 36.3mm(1.43") | 119.6mm(4.71") |
| 3/4"Faretek管配件 | 126.6mm(4,99") | 38.9mm(1.53") | 132.6mm(5.22") |
| 1"Faretek管配件 | 126.6mm(4,99") | 38.9mm(1.53") | 154.9mm(6.10") |
| 1/2"Primelock管配件 | 120.9mm(4.76") | 36.3mm(1.43") | 122.9mm(4.84") |
| 1"Primelock管配件 | 126.6mm(4,99") | 38.9mm(1.53") | 149.6mm(5.891) |
| 1/4"支柱管接頭 | 114.6mm(4.51") | 33.0mm(1.30") | 100.5mm(3.96") |
| 3/8"支柱管接頭 | 117.7mm(4.64") | 34.7mm(I.37") | 112.5mm(4.43") |
| 3/4"支柱管接頭 | 126.6mm(4.99) | 38.9mm(1.53") | 134.5mm(5.29") |
訂購須知
InVue GV148液體濃度監(jiān)測器：配件號
| 配件編號 | 描述 |
| GV1CBLH04 | 19針螺旋接頭，帶4.0米（13.12英寸）聚氯乙烯護(hù)套電纜 |
| GV1USBCVT | USB轉(zhuǎn)4線串行轉(zhuǎn)換器 |
