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詳細(xì)介紹
多種檢測器選項（定向背散射探測器、STEM、陰極熒光探測器等）提供了所有必要的樣品信息。探測器信號同步采集和顯示，可以在短的時間內(nèi)提供答案。此外，ESEM可以在現(xiàn)實條件下對樣品進(jìn)行原位研究，例如在濕潤、高溫、潮濕或反應(yīng)性環(huán)境中的樣品觀察。 Prisma E SEM 還包括一系列軟件集成的原位實驗臺，用于執(zhí)行和控制動態(tài)實驗。分析樣品倉可以滿足日益增長的樣品元素信息及晶體結(jié) 構(gòu)分析需求，它同時支持相對的雙能譜（EDS）探測器、共面能 譜（EDS） /電子背散射衍射（EBSD）和平行束波譜（WDS） 探測器。支持掃描預(yù)設(shè)、便捷的相機導(dǎo)航和Thermo ScientificSmartSCAN™，更進(jìn)一步提升了生產(chǎn)力、數(shù)據(jù)質(zhì)量和易用性。對于日常工作，Prisma E SEM可以使用強大的基于Python的腳本工具Autoscript自動執(zhí)行。
產(chǎn)品特點
• 在自然狀態(tài)下對材料進(jìn)行原位研究：在各種操作模式下分析導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品， 同步獲取二次電子像和背散射電子像。
• 縮短樣品制備時間：低真空和環(huán)境真空技術(shù)可針對不導(dǎo)電和/或含水樣品直接成像和分析，樣品表面無荷電累積。
• 觀察所有樣品獲取全面的信息，在每種操作模式下均可同時進(jìn)行SE和BSE成像。
• 原位分析配置專門的原位實驗臺，溫度范圍從-165℃到1400℃。
• 分析功能：大樣品倉可安裝3個EDS 探測器、WDS和共面EDS/EBSD，其中兩個EDS端口為180°正對。
• 不導(dǎo)電樣品分析功能：借助多級穿過透鏡的真空系統(tǒng)，實現(xiàn)低真空下的高質(zhì)量EDS 和 EBSD 分析。
• 高精度優(yōu)中心樣品臺，105°傾斜角度范圍，觀察樣品。
• 軟件直觀、簡便易用，配置用戶向?qū)Ъ?nbsp;Undo（撤銷）功能，新手用戶可進(jìn)行高效操作，專家用戶也可進(jìn)行更少的操作，完成快速分析。
• 廣泛的配置選項，包括可伸縮的RGB CL陰極熒光探測器、1100℃ 高真空熱臺、μHeater 和Autoscript（基于Python的腳本工具API）。
參數(shù)
電子束
• 高真空成像
- 30 keV下 3.0 nm （SE）
- 30 keV下 4.0 nm（BSE）*
- 3 keV下 8.0 nm （SE）
• 高真空下，電子束減速模式
- 3 keV下7.0 nm （電子束減速模式* + DBS*）
• 低真空成像
- 30 keV下 3.0 nm （SE）
- 30 keV下 4.0 nm（BSE）
- 3 keV下 10.0 nm （SE）
• ESEM
- 30 keV下 3.0 nm （SE）
• 電子束流范圍：大 2 μA，連續(xù)可調(diào)
• 加速電壓范圍：200 V - 30 kV
• 放大倍數(shù) ：6 – 1,000,000 倍
樣品倉
• 內(nèi)寬：340 mm
• 分析工作距離：10 mm
• 端口：12
• EDS 出射角：35°
• 可同時安裝三個 EDS 探測器，其中兩個處于180°
• 共面 EDS/EBSD ，與樣品臺傾斜軸垂直設(shè)定了預(yù)配置方法包括自定義方法和數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能的用戶友好軟件
• 通用 9 針電氣接口
真空系統(tǒng)
• 1個250 升/秒渦輪分子泵（TMP）
• “穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)
• 電子束在氣體區(qū)域的行程（BGPL）：10 mm 或 2 mm
• 典型換樣時間：高真空模式 ≤ 3.5 分鐘；環(huán)境真空模式≤4.5 分鐘
• 可選 CryoCleaner 冷阱
• 可選升級成無油機械泵（PVP）
| 產(chǎn)品料號 | 產(chǎn)品貨號 | *產(chǎn)品名稱 | *產(chǎn)品規(guī)格 |
| TFE000047 | TFE000047 | Prisma E 掃描電鏡 | Prisma E |
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