目錄:北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司>>澤攸科技電子顯微鏡>>探針臺(tái)及低溫系統(tǒng)>> 手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)
產(chǎn)品描述
手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)，可定制手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包配置有探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針線纜、探針等配置如下：
| 序號 | 項(xiàng)目 | 說明 |
| 1 | 探針臺(tái)主體 | 可測試晶圓尺寸:最大4英寸樣品臺(tái)行程:100mm*100mm移動(dòng)分辨率:~0.1mm樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)范圍:360度低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax 輸出可選 400 度高溫樣品臺(tái) |
| 2 | 顯微鏡 | 舜宇三目連續(xù)變倍體視鏡，LED環(huán)形照明光學(xué)變倍總倍率 45倍，物鏡 0.7~4.5倍連續(xù)變倍可選配高清攝像頭，總放大倍率約700倍 |
| 3 | 針座 | 磁性吸附底座，XYZ移動(dòng)范圍:12mm移動(dòng)分辨率 2um標(biāo)配4個(gè)，最多可裝6個(gè) |
| 4 | 探針線纜 | 低漏電探針設(shè)計(jì)，漏電流低于100fATriax 標(biāo)準(zhǔn)接口輸出，Keithley原裝低噪聲 Triax 線纜 |
| 5 | 探針 | 低漏電探針設(shè)計(jì)，針尖直徑標(biāo)配10um，最小1um |
| 6 | 尺寸和自重 | 尺寸:450mmW*450mmD*500mmH;自重:約 30Kg。 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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