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        1. 上海明策電子科技有限公司

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          Sekidenko OR400M外延片測溫儀
          • Sekidenko OR400M外延片測溫儀
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          貨物所在地:上海上海市

          更新時(shí)間:2024-10-14 21:00:07

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          Advanced Energy®的 OR400M光學(xué)高溫計(jì)將Sekidenko產(chǎn)品系列的應(yīng)用范圍擴(kuò)展至3.3um-5.2um的中紅外波長范圍。OR400M可進(jìn)行單通溫度測量,用于半導(dǎo)體設(shè)備的高精密溫度測量,用于硅片,腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口。OR400M設(shè)計(jì)緊湊,易于集成,可滿足許多工藝應(yīng)用的要求。

          OR400M外延片測溫儀

          主要特性

          優(yōu)點(diǎn):

          • 溫度范圍為50℃C至1300℃

          • 讀取速率高達(dá)250Hz

          • 單通道配置可選/固定發(fā)射率

          • 高速、固態(tài)檢測器

          • 可配置的過濾器、檢測器和光學(xué)傳輸系統(tǒng)

          • RS-232連接模式


          應(yīng)用:

          • 適用于半導(dǎo)體外延,太陽能薄膜和玻璃類工藝


          技術(shù)參數(shù):

          通道配置:帶可選/固定發(fā)射系數(shù)的單通道溫度測量
          測溫范圍:50-1300℃
          測溫波長:3.3 和 5.2 um
          讀取速率:高達(dá)250 Hz
          測量精度:±3℃℃
          重復(fù)精度:±0.1℃℃,正常情況下
          分辨率:0.01°C
          顯示:無,可通過RS232設(shè)置
          數(shù)據(jù)I/O:US232,可達(dá)115kB
          模擬輸出:0-10V或4-20mA
          電源:交流:90 to 263 VAC,47 to 63 Hz直流:24V DC
          環(huán)境參數(shù):18-40℃,非冷凝
          物理尺寸:32 mm (H)x 57 mm (W)x 235 mm (D)
          重量:0.39kg
          安裝:框架安裝、安裝孔安裝等





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