四探針電阻率/方阻測(cè)試儀(靈敏度：10μV) 型號(hào)： GDS/KDY-1

四探針電阻率測(cè)試儀是嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造，并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問題加以改進(jìn)。
功能特點(diǎn)：
1.配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)過程中的電流變化，使操作簡便，測(cè)量。
3.設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過時(shí)，電壓表指零，1、4探針接觸到硅片，測(cè)量電流渡過單晶時(shí)，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
4.流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測(cè)量精度＜3%。
5.儀器采用觸點(diǎn)電阻低（＜5mΩ）、使用壽命長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10），在緣電阻、電流容量方面留有大的系數(shù)，提高了測(cè)試儀的性和使用壽命。
6.可加配電腦，使用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、存儲(chǔ),求平均值，zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
7.可配電動(dòng)測(cè)試架，自動(dòng)上下運(yùn)行，使測(cè)量方便快捷。
8.四探針頭采用上的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測(cè)量重復(fù)性提高。
參數(shù)：
電  壓  表：0-199.99mV
靈  敏  度：10μV
輸入阻抗：1000ΜΩ
基本誤差：±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
電  阻  率：10-4—1.9×104Ω·cm
方塊電阻：10-3—1.9×105Ω/□
電流量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
備注：四探針電阻率儀標(biāo)準(zhǔn)配置為主機(jī)+手動(dòng)測(cè)試架+測(cè)試探針，用戶可根據(jù)需要選配電動(dòng)測(cè)試架和操作軟件以及其它規(guī)格的測(cè)試探針。