布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-500是世界上全面的快速，非接觸式3D表面計(jì)量自動(dòng)化臺式系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了布魯克專有的自動(dòng)傾斜光學(xué)測頭，可以編程并自動(dòng)測試一定角度范圍內(nèi)的表面特征，并能減少跟蹤誤差。

滿足計(jì)量要求，具有高Z軸分辨率和準(zhǔn)確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克的白光干涉儀落地式型號所有業(yè)界*的優(yōu)點(diǎn)。

借助其新的USI通用掃描模式，本產(chǎn)品可以輕松地針對各種復(fù)雜應(yīng)用場景定制分析方法。這些場景涵蓋了從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征，可用于表面粗糙度，RDLxian進(jìn)封裝工藝厚度等測試。

布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-500高級自動(dòng)化功能：

專有的自動(dòng)傾斜測頭為生產(chǎn)和監(jiān)測提供了靈活性。通過將自動(dòng)傾斜測頭與光學(xué)裝置耦合在顯微鏡上，布魯克實(shí)現(xiàn)了測試位置不受傾斜角度影響的測量。進(jìn)一步結(jié)合自動(dòng)樣品臺和物鏡塔臺，使得ContourX-500非常適合“按需測量”工業(yè)要求，且占用空間小。

*進(jìn)的臺式三維形貌計(jì)量設(shè)備：

與放大倍率無關(guān)的Z軸分辨率

自動(dòng)化功能，包含帶編碼器的XY軸樣品臺、自動(dòng)測頭傾斜和自動(dòng)亮度調(diào)整

更緊湊的氣動(dòng)減震臺設(shè)計(jì)

測量與分析功能：

易于使用的界面，可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果

廣泛的自動(dòng)化功能，可量身定制測量和分析程序

*泛的濾鏡和分析工具

滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報(bào)告