產(chǎn)地類別 |
國產(chǎn) |
產(chǎn)品種類 |
其他 |
價格區(qū)間 |
面議 |
介質(zhì)分類 |
氣體 |
應用領域 |
綜合 |
流量規(guī)格(氮氣) |
30SLM-100SLM |
熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計主要應用在量程范圍從5sccm—1500slm之間氣體流量的測量和控制,采用新型傳感制作工藝,具有本體顯示、數(shù)模一體,隨意切換、多種通訊、響應速度快、準確度高、流量控制穩(wěn)定、壓力范圍寬、線性度好等優(yōu)點,適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體(及少數(shù)腐蝕性氣體)。
應用行業(yè):真空鍍膜設備、石油化工、航空航天、醫(yī)藥制造業(yè)、火電、核電、天然氣加氣站、太陽能、 液晶面板制造半導體工藝設備、化學與化工實驗設備、食品科學與工程設備、能源與環(huán)境保護設備、各種分析儀器設備表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設備等行業(yè)的公司
☆ 氣體質(zhì)量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣(N2)標定。
質(zhì)量流量單位:SCCM(標準毫升每分鐘)、SLM(標準升每分鐘)
標準狀況:溫度--293.15K(20℃)
壓力--101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale)表示滿量程
》流量計特征
--全數(shù)字構(gòu)架 --更快的響應速度
--寬壓力范圍 --出色的線性度
--新型傳感制作工藝
流量規(guī)格(氮氣) | 0-10sccm/10sccm-50slm |
控制量程 | 2%-100% |
精度 | ≤±1.0%F.S |
線性 | ≤±0.5%F.S |
重復性 | ≤±0.2%F.S |
閥門類型 | 常閉閥 |
響應時間 | 1-3sec |
最大耐壓 | 0-50Bar |
通信信號 | 0-5V/4-20mA/Rs485 |
供電方式 | 14VDC--27VDC (300mA) |
泄漏率 | 1×10-9atm. cc/sec He |