?CF4泄漏分析儀基于超靈敏的懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜檢測(cè)技術(shù)，結(jié)合量子級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，致力于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度，可以毫不延遲地檢測(cè)到小濃度的CF4飛濺或溢出，同時(shí)確保了超高的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)周期持續(xù)數(shù)月甚至數(shù)年，從而大大降低了總體擁有成本。
?CF4泄漏分析儀超靈敏的專業(yè)光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機(jī)懸臂梁傳感器，結(jié)合激光干涉儀來測(cè)量懸臂梁的微觀運(yùn)動(dòng)，光源配置：分布式反饋量子級(jí)聯(lián)激光器，樣品電池溫度穩(wěn)定在50℃。
CF4泄漏分析和檢測(cè)要求：潔凈室需要控制污染物的水平。準(zhǔn)確，可靠和低維護(hù)的潔凈室空氣分子污染物AMC控制可以顯著提高生產(chǎn)率。高度靈敏的GASERAONECF4可以快速檢測(cè)生產(chǎn)環(huán)境中的污染物。另外，由于其零背景特性，直接吸收檢測(cè)可以確保長(zhǎng)期的高穩(wěn)定性。GASERAONECF4可以與其他檢測(cè)儀器集成在一起，例如機(jī)柜中的顆粒物監(jiān)測(cè)儀。
?CF4泄漏分析儀可以測(cè)量哪些參數(shù)？
1、響應(yīng)時(shí)間：取決于用戶定義的通道積分時(shí)間CIT和氣體沖洗設(shè)置。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)置，它從大約15秒到幾分鐘不等。
2、監(jiān)測(cè)下限：N2O2ppb，CH410ppb。
3、動(dòng)態(tài)范圍：5個(gè)數(shù)量級(jí)（檢測(cè)下限的100,000倍）。
4、重復(fù)性：在操作條件下，校準(zhǔn)濃度的重復(fù)性小于1％。
5、準(zhǔn)確度：在校準(zhǔn)濃度下優(yōu)于5％，這受校準(zhǔn)氣體的準(zhǔn)確性限制。
6、溫度穩(wěn)定性：工作溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會(huì)引起漂移。
7、壓力穩(wěn)定性：樣品在壓力范圍內(nèi)的壓力變化不會(huì)引起漂移。
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