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• 運(yùn)行條件

溫度范圍：0℃…+49℃

濕度：無(wú)凝露

壓力范圍：750mbar-1050 mbar

防塵/水等級(jí)：IP20 (IEC 529)

• 儲(chǔ)存條件

溫度范圍：-20 ℃ ~+60 ℃

• 樣品氣體條件

溫度范圍：0 ~ +49 °C

濕度：無(wú)凝露，溫度達(dá)35°C時(shí)大相對(duì)濕度80%，溫度達(dá)49°C時(shí)線性下降至35%

壓力：750 mbar…1050 mbar

氣流：約1L/min

顆粒物< 1 μm

測(cè)量參數(shù)

• 響應(yīng)時(shí)間：取決于用戶可定義通道積分時(shí)間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)定從大約15秒到幾分鐘不等

• 監(jiān)測(cè)下限：N2O 2 ppb，CH4 10 ppb

• 動(dòng)態(tài)量程：5個(gè)數(shù)量級(jí)（檢測(cè)下限的100,000倍)

• 重復(fù)性：運(yùn)行條件下，校準(zhǔn)濃度重復(fù)性小于1%

• 準(zhǔn)確度：校準(zhǔn)濃度下好于5%，受限于校準(zhǔn)氣體準(zhǔn)確度

• 溫度穩(wěn)定性：在運(yùn)行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會(huì)導(dǎo)致漂移

• 壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會(huì)導(dǎo)致漂移

可靠的監(jiān)測(cè)

• 高靈敏度的GASERA ONE CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測(cè)污染物。另外，直接吸收式的檢測(cè)因其零背景的性質(zhì)，可保證長(zhǎng)期高穩(wěn)定性。GASERA ONE CF4可與其他檢測(cè)儀器，如顆粒物監(jiān)測(cè)儀等，整合在一個(gè)機(jī)柜里。

優(yōu)勢(shì)

• 準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室污染控制

• 快速的響應(yīng)時(shí)間，以捕捉急速上升的濃度

• 獨(dú)立運(yùn)行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

• 無(wú)耗材或者化學(xué)試劑

• 短光程，單點(diǎn)校準(zhǔn)也可達(dá)到業(yè)內(nèi)較好的動(dòng)態(tài)量程

• 直接吸收測(cè)量，無(wú)漂移

• 校準(zhǔn)間隔長(zhǎng)（可達(dá)數(shù)年）

• 高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾

特點(diǎn)

• 高選擇性的監(jiān)測(cè)痕量水平的CF4

• 檢測(cè)下限(LoD)低于0.1 ppb

• 響應(yīng)時(shí)間可設(shè)置，從10秒到幾分鐘

• 動(dòng)態(tài)范圍寬，運(yùn)行穩(wěn)定

• 無(wú)耗材

• 低樣品量（幾ml）

• 內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)

• 重新校準(zhǔn)間隔長(zhǎng)（幾個(gè)月）

• 直觀的用戶界面

• 內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果

• 可通過局域網(wǎng)遠(yuǎn)程操作