布魯克的 Vision64 軟件通過提供直觀、簡化的用戶可視化界面，加入到 DektakXT 的創(chuàng)新設計。智能架構(gòu)和可自定義自動化功能相結(jié)合，可實現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結(jié)果進行分析，還是應用自定義篩選器設置和計算，DektakXT 的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當前分析結(jié)果，同時顯示其他可能的分析工具。

DektakXT 的自對齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針，同時消除換針中的任何潛在風險。布魯克提供廣泛的探針尺寸和形狀，幾乎滿足任何應用需求。

DektakXT 能夠快速輕松地設置和運行自動化的多樣品測量模式，以可重復性驗證整個晶圓表面薄膜的精確厚度。這種有效的監(jiān)控可以通過提高測試通量來節(jié)省寶貴的時間和金錢。