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NANO-MASTER Platens低溫樣平臺
NANO-MASTER(那諾-馬斯特)Platens低溫樣品臺,使用技術(shù),加熱均勻性*。NANO-MASTER的樣平臺(或稱為基板、熱板)可以加入射頻偏壓、水冷卻、通過模塊控制300°C范圍的溫度?;宓母叨瓤烧{(diào)節(jié),基片可旋轉(zhuǎn),真空腔體內(nèi)沒有任何引線。任何地方不會出現(xiàn)短路或電弧,因為所有引線、電熱偶和冷卻水管道都保持在大氣壓下。NM低溫樣品臺可以直接安裝到你的系統(tǒng)中,無論是RIE刻蝕、ICP刻蝕、ALE刻蝕,還是PECVD、ALD等沉積設(shè)備中,我們的基板都可以很方便的配套使用。
Platens低溫樣品臺可應(yīng)用的設(shè)備:
?Platens低溫樣品臺尺寸:
Platens不同型號對應(yīng)溫度上限:
?Different models allow for different temperature limits:
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