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          目錄:華儀行(北京)科技有限公司>>CIF材料表面處理儀器>>CIF等離子清洗機(jī)>> CPC-10/PlusCIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列

          CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列
          • CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列
          • CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌 CIF
          • 型號(hào) CPC-10/Plus
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 北京市
          屬性

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          更新時(shí)間:2024-10-25 15:59:51瀏覽次數(shù):2081評(píng)價(jià)

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          CIF推出全新一代 CPC-10系列實(shí)驗(yàn)室型等離子體清洗設(shè)備, 改變傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價(jià)比高, 處理快速高效, 特別適合于大學(xué), 科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。

          產(chǎn)品特點(diǎn):

          ◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。

          ◆  PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

          ◆  石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。

          ◆  采用質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問(wèn)題。

          ◆  HEPA 高效過(guò)濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

          ◆  60 度傾角操作界面設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

          ◆  頂置真空艙,上開(kāi)蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)方式,開(kāi)關(guān)蓋方便。

          ◆  采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。

          ◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。

          ◆  有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

          ◆  安全保護(hù),艙門打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。


          技術(shù)參數(shù):

           

          型號(hào)

          CPC-10

          CPC-10plus

          CPC-10M

          CPC-10Mplus

          射頻電源

          40KHz

          13.56MHz

          40KHz

          13.56MHz

          射頻功率

          0-600W

          0-300W

          0-600W

          0-300W

          匹配器

          自動(dòng)匹配

          自動(dòng)匹配

          激發(fā)方式

          電容式

          電容式

          氣體控制

          雙浮子流量計(jì)

          單路 MFC(可選兩路)

          艙體尺寸

          L300xΦ215mm

          L300xΦ215mm

          艙體容積

          10.8L

          10.8L

          艙體材質(zhì)

          不銹鋼

          不銹鋼

          有效處理尺寸

          L300xW215mm

          L300xW215mm

          時(shí)間設(shè)定

          9999 秒

          9999 秒

          真空泵

          抽速 8m3/h

          抽速 8m3/h

          氣體穩(wěn)定時(shí)間

          1 分鐘

          1 分鐘

          真空度

          100pa 以內(nèi)

          100pa 以內(nèi)

             

          AC220V 50/60Hz  766/466W

          AC220V 50/60Hz  752/452W

          產(chǎn)品尺寸

          L645xW550xH495mm

          L645xW550xH495mm

          包裝尺寸

          L750xW700xH720mm

          L750xW700xH720mm

          整機(jī)重量

          55kg

          55kg

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