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貨物所在地:北京北京市
更新時(shí)間:2024-11-24 21:00:29
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德國(guó)SPS-EUROPE 勻膠機(jī)
產(chǎn)品概述
德國(guó)SPS-EUROPE公司勻膠機(jī)具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動(dòng)快速,涂膠一致性和均勻性好等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆。
工作原理
勻膠機(jī)(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
*特征
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | SPN150i | SPN200i |
控制方式 | 全彩觸摸屏控制界面 | 全彩觸摸屏控制界面 |
結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) |
旋轉(zhuǎn)速度 | 1-12000rpm ±1rpm steps | 1-12000rpm ±1rpm steps |
旋轉(zhuǎn)精度 | ±0.1rpm | ±0.1rpm |
旋轉(zhuǎn)方向 | 順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng) | 順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng) |
加速/減速 | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) |
旋轉(zhuǎn)時(shí)間 | 0.1-99999秒/步 | 0.1-99999秒/步 |
基片范圍 | 160mm 或6"直徑或4"x4"方片 | 260mm 或6"直徑或6"x6"方片 |
腔體直徑 | 202mm | 302mm |
外接控制端口 | 3個(gè) | 3個(gè) |
真空開(kāi)關(guān) | 有 | 有 |
外形尺寸 | 27.5x45.0x25.0cm(WxDxH) | 380x559x307cm(WxDxH) |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)