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          德國(guó)SPS-EUROPE 勻膠機(jī)
          • 德國(guó)SPS-EUROPE 勻膠機(jī)
          舉報(bào)

          貨物所在地:北京北京市

          更新時(shí)間:2024-11-24 21:00:29

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          德國(guó)SPS-EUROPE公司勻膠機(jī)具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動(dòng)快速,涂膠一致性和均勻性好等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆。

          德國(guó)SPS-EUROPE 勻膠機(jī)

           

          產(chǎn)品概述

          德國(guó)SPS-EUROPE公司勻膠機(jī)具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動(dòng)快速,涂膠一致性和均勻性好等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆。

          工作原理

          勻膠機(jī)(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

          *特征

          • 可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器,可拆卸,耐化學(xué)試劑腐蝕。速度、加速和時(shí)間可編程;無(wú)*程序存儲(chǔ)空間,可存儲(chǔ)旋涂多步驟工作協(xié)議,具有協(xié)議密保功能。
          • 可編程轉(zhuǎn)速范圍: 1rpm-12,000rpm,轉(zhuǎn)速參數(shù)設(shè)置范圍廣,高精確性旋轉(zhuǎn)速度 (± 0.1 rpm)。
          • 數(shù)字電機(jī)控制,帶增速數(shù)字顯示信號(hào)反饋,以避免轉(zhuǎn)速過(guò)量,從而提升涂膜的品質(zhì)。
          • 防靜電PET透明襯套,杜絕工作倉(cāng)室的交叉污染。
          • 一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質(zhì),傳動(dòng)系統(tǒng)采用工程塑料材質(zhì),壽命長(zhǎng)耐腐蝕。
          • 采用經(jīng)過(guò)熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動(dòng)將蓋子固定在理想位置,玻璃蓋上帶注射器固定架和氮?dú)鈹U(kuò)散器,注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學(xué)試劑,氮?dú)鈹U(kuò)散器在旋涂過(guò)程可注入到工作艙氮?dú)?氬氣,工作艙環(huán)境可控。
          • 安全互鎖裝置:工作艙蓋鎖止,艙蓋打開(kāi)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)停止,真空不足或沒(méi)有真空旋轉(zhuǎn)自動(dòng)停止,過(guò)載保護(hù)。
          • USB端口:可上傳和下載旋涂協(xié)議和軟件。
          • 三個(gè)外接控制端口,可用于接入注入單元自動(dòng)控制,氮?dú)鈹U(kuò)散器控制等。
          • 產(chǎn)品通過(guò)CE認(rèn)證。

          技術(shù)參數(shù)

           

          型號(hào)

          SPN150i

          SPN200i

          控制方式

          全彩觸摸屏控制界面

          全彩觸摸屏控制界面

          結(jié)構(gòu)材質(zhì)

          聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)

          聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)

          旋轉(zhuǎn)速度

          1-12000rpm ±1rpm steps

          1-12000rpm ±1rpm steps

          旋轉(zhuǎn)精度

          ±0.1rpm

          ±0.1rpm

          旋轉(zhuǎn)方向

          順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng)

          順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng)

          加速/減速

          1-30,000rpm/秒 (每步可選)

          1-30,000rpm/秒 (每步可選)

          旋轉(zhuǎn)時(shí)間

           0.1-99999秒/步

           0.1-99999秒/步

          基片范圍

          160mm 或6"直徑或4"x4"方片

          260mm 或6"直徑或6"x6"方片

          腔體直徑

          202mm

          302mm

          外接控制端口

          3個(gè)

          3個(gè)

          真空開(kāi)關(guān)

          外形尺寸

          27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

          380x559x307cm(WxDxH)

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