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          SC1-CIF-勻膠旋涂儀
          • SC1-CIF-勻膠旋涂儀
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          貨物所在地:北京北京市

          更新時間:2024-06-10 21:00:07

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          CIF-勻膠旋涂儀轉速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

          CIF-勻膠旋涂儀

           

          產品特點

          采用閉環(huán)控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。

          5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可選配10個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,多100個階段

          內置水平校準裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

          多重安全保護

          電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;

          蓋子自鎖功能,防止飛片蓋子彈開傷人;

          雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實驗人員安全。

          一機兩用,根據不同樣品可選真空盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

          不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器苛刻條件下能正常運行。

          適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

          技術參數

          型號

          轉速(轉/分)

          轉速穩(wěn)定度

          勻膠時間

          旋涂基片尺寸mm

          外型尺寸(LxWxH)mm

          SC1

          50-10000

          ±1%

          0-2000S

          圓片Φ5-Φ100,方片大100x100

          310x260x250

           

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