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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> HPR-80-腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀
貨物所在地：國外
產(chǎn)地：英國 HIDEN
更新時(shí)間：2024-05-19 21:00:06
有效期：2024年5月19日 -- 2024年11月19日
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20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測，如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等，強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等，強(qiáng)氧化性氣體如CIF3、NF3等。
20年來，Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。
HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。
主要特點(diǎn)：
1、連接件電拋光工藝處理
2、取樣壓力： 1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級過濾四極桿
4、檢測限可達(dá) 5 ppb
5、QGA專業(yè)版定量分析軟件
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