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應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。MX61L半導體檢查顯微鏡切換物鏡時自動調節(jié)連動的亮度光圈等，實現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
奧林巴斯MX61L半導體檢查顯微鏡能對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）
應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。奧林巴斯MX61L半導體檢查顯微鏡切換物鏡時自動調節(jié)連動的亮度光圈等，實現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺，能應對大型樣本。
詳細參數(shù):
光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正） | ||
機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明裝置 | 機身一體型（明視場，暗視場＋1選件） | ||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | 纖維光導 | ||
對焦單元 | 電動/手動 | 手動 | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微調靈敏度 | 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm | ||
zui大樣本高度 | 30 mm | ||
物鏡轉換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | |
手動式 | - | ||
載物臺 | 行程 | 8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm） | |
觀察筒 | 廣角視場（視場數(shù)22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
正像 | 三目觀察筒 | ||
超寬視場（視場數(shù)26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 | ||
外形尺寸 | 509（W）×843（D）×507（H）mm（標準組合） | ||
重量 | 40 kg（標準組合） | ||