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        1. 北京華沛智同科技發(fā)展有限公司
          中級會員 | 第9年

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          光電領(lǐng)域晶圓的研磨拋光

          時間:2018/9/3閱讀:6246
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              Logitech公司擁有超過50年的高精密設(shè)備設(shè)計和制造經(jīng)驗。Logitech精密研磨拋光系統(tǒng)在晶圓表面處理、晶圓減薄(背)和形狀控制方面提供大量技術(shù)解決方案,尤其在光電材料加工方面?zhèn)涫芡瞥?/span>。選擇Logitech,我們的專家團隊將與您一起將相關(guān)工藝和系統(tǒng)整合到您的晶圓制項目中。

              Logitech系統(tǒng)通常可加工處理硅藍寶石、碳化硅、氮化鎵、鉆石、鈮酸鋰、鉭酸鋰、鉍硅氧化物、鈦酸鋇等多種光電材料。

              光電器件拋光方面,Logitech系統(tǒng)可完成如下操作

          1、從晶柱上切割晶圓片

          2、自動研磨晶圓面或晶圓面雙面

          3、拋光到無缺陷的表面或雙面

          4、將拋光后的晶圓片切割成小片

          5、在拋光表面形成一個光導(dǎo)通道

          6、粘擴散片粘結(jié)形成一個堆疊塊,片間用端頭廢片

          7、以小的塌邊和破碎將端面拋光平整和方正

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