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          半導(dǎo)體材料電阻檢測(cè)儀 數(shù)字式四探針測(cè)試儀 半導(dǎo)體材料電阻率測(cè)試儀

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          • 半導(dǎo)體材料電阻檢測(cè)儀 數(shù)字式四探針測(cè)試儀 半導(dǎo)體材料電阻率測(cè)試儀
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          • 型號(hào) AODD-4
          • 品牌 其他品牌
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 北京市
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          更新時(shí)間:2016-08-14 08:25:35瀏覽次數(shù):345

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          半導(dǎo)體材料電阻檢測(cè)儀 數(shù)字式四探針測(cè)試儀 半導(dǎo)體材料電阻率測(cè)試儀
          AODD-4型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

          詳細(xì)介紹

          半導(dǎo)體材料電阻檢測(cè)儀 數(shù)字式四探針測(cè)試儀 半導(dǎo)體材料電阻率測(cè)試儀

          型號(hào)AODD-4

          AODD-4型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

          儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。

          儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

          本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

          AODD-4型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。

          測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

          技 術(shù) 指 標(biāo):

          測(cè)量范圍電阻率:0.001200Ω.cm(可擴(kuò)展);

          方塊電阻:0.012000Ω/(可擴(kuò)展);

          電導(dǎo)率:0.0051000s/cm;

          電阻:0.001200Ω.cm

          可測(cè)晶片直徑140mmX150mm(S-2A型測(cè)試臺(tái));

          200mmX200mm(S-2B型測(cè)試臺(tái));

          400mmX500mm(S-2C型測(cè)試臺(tái))

          恒流源電流量程分為0.1mA、1mA、10mA100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

          數(shù)字電壓表量程及表示形式:000.00199.99mV;    

          分辨力:10μV

          輸入阻抗:>1000MΩ;

          精度:±0.1%

          顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;

          四探針探頭基本指標(biāo)間距:1±0.01mm

          針間絕緣電阻:≥1000MΩ;

          機(jī)械游移率:≤0.3%;

          探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;

          探針壓力:516牛頓(總力);

          四探針探頭應(yīng)用參數(shù)(見探頭附帶的合格證)

          模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差

          (JJG508-87進(jìn)行)0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1

          整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

          整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%

          計(jì)算機(jī)通訊接口并口

          標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度:23±2℃;

          相對(duì)濕度:≤65%;

          無高頻干擾;

          無強(qiáng)光直射;

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