結(jié)構(gòu)分析場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡/ ULTRA系列掃描電鏡儀器簡(jiǎn)介：
在SUPRA™場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的ULTRA 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是用于納米結(jié)構(gòu)分析的電子束成像儀器中的*，它接收效率高、可以超高分辨率成像。開發(fā)的能量選擇式背散射電子探測(cè)器（EsB）和角度選擇式背散射電子探測(cè)器（AsB）則代表了著名的GEMINI®技術(shù)的發(fā)展。

結(jié)構(gòu)分析場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡/ ULTRA系列掃描電鏡ULTRA綜合采用了用于形貌成像的GEMINI® In-len二次電子探測(cè)器、用于清晰的組分襯度的EsB探測(cè)器和用于采集晶體通道信息的AsB探測(cè)器。同步的實(shí)時(shí)成像與信號(hào)混合功能提供了*的成像能力。 
EsB探測(cè)器包含有一個(gè)過(guò)濾柵網(wǎng)，通過(guò)它可實(shí)現(xiàn)高分辨率背散射電子成像，讓以前無(wú)法看見的細(xì)節(jié)歷歷在目。
卡爾.蔡司*的荷電補(bǔ)償功能在使用所有探測(cè)器時(shí)，都可以分析非導(dǎo)電樣品 

? 低加速電壓時(shí)的超高分辨率二次電子和背散射電子成像 
? 用于在納米尺度上實(shí)現(xiàn)組分襯度成像的高效EsB / AsB探測(cè)器 
? 精確控制的超大自動(dòng)優(yōu)中心（eucentric）樣品臺(tái) 
? 背散射電子和二次電子信號(hào)的實(shí)時(shí)成像與混合功能 
? 抑制不導(dǎo)電樣品的荷電效應(yīng) 
? 用于X射線分析和背散射電子衍射（EBSD）應(yīng)用的超穩(wěn)定束流模式

結(jié)構(gòu)分析場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡/ ULTRA系列掃描電鏡技術(shù)參數(shù)：

ULTRA基本規(guī)格
分辨率	1.0 nm @ 15 kV 1.7 nm @ 1 kV 4.0 nm @ 0.1 kV
加速電壓	0.1 - 30 kV
探測(cè)電流	4 pA - 20 nA
放大倍數(shù)	12 - 900,000x
電子槍	熱場(chǎng)發(fā)射
標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器	鏡筒內(nèi)置式In-Lens二次電子探測(cè)器和EsB探測(cè)器，樣品室內(nèi)AsB探測(cè)器和ET探測(cè)器
圖象處理	7種積分和平均模式
系統(tǒng)控制	基于Windows® XP的SmartSEM™

 

ULTRA 55SE

成像與測(cè)量工作站

主要特點(diǎn)：

ULTRA——*的成像工具

看得更多——超高分辨率的SE與BSE同步成像 
看得更清——精確的*成像能力 
看得更細(xì)——納米尺度上進(jìn)行組分分析的利器 
簡(jiǎn)便易用——全面集成的鏡筒內(nèi)置式背散射電子探測(cè)器（EsB）和二次電子探測(cè)器（In-lens     detector） 
遠(yuǎn)離荷電——Ultra plus中安裝有荷電補(bǔ)償器，實(shí)現(xiàn)了不導(dǎo)電樣品的清晰、精確成像