二手JEOL場發(fā)射電鏡7001F熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡,是能夠滿足與高分辨率和易用性同樣的分析應(yīng)用需求的理想平臺。JSM-7001F具有大型、5軸、全對中馬達(dá)驅(qū)動自動化樣品臺,還有單動作樣品更換氣鎖、它的小束口壓直徑，即使在大電流和低電壓時(shí)，也具有適用于EDS、WDS、EBSP和CL的理想結(jié)構(gòu)的擴(kuò)充性。樣品室可處理直徑最大為 200mm的樣品。

二手JEOL場發(fā)射電鏡7001F日本電子熱場發(fā)射掃描電鏡JSM-7001F（Thermal Field Emission SEM）是能夠滿足與高分辨率和易用性同樣的分析應(yīng)用需求的理想平臺。JSM-7001F具有大型、5軸、全對中馬達(dá)驅(qū)動自動化樣品臺,還有單動作樣品更換氣鎖、它的小束口壓直徑，即使在大電流和低電壓時(shí)，也具有適用于EDS、WDS、EBSP和CL的理想結(jié)構(gòu)的擴(kuò)充性。樣品室可處理直徑最大為200mm的樣品。

計(jì)算機(jī)接口是新的Windows® XP系統(tǒng)，操作簡單，具有快速簡單地切換操作模式的功能鍵。最多可同時(shí)查看包括混合信號的四幅實(shí)時(shí)圖像，單次掃描就可以記錄并馬上存儲全部的四幅圖像。

JSM-7001F掃描電子顯微鏡還支持與EDS、WDS、電子束光刻系統(tǒng)和圖像數(shù)據(jù)庫的整體化。標(biāo)準(zhǔn)的樣品臺自動化由計(jì)算機(jī)控制5軸：X、Y、Z、傾斜和對中自轉(zhuǎn)。

低真空操作

JSM-7001FLV場發(fā)射掃描電子顯微鏡具有高分辨率性能，可以在中至高電壓千伏（kV）和更高的束流下對非導(dǎo)電樣品進(jìn)行成像。因此無需在樣品上鍍金屬膜或碳膜以供導(dǎo)電，即可施用EDS、背散射成像、EBSD等分析技術(shù)。這在以下情況中特別有用: 樣品不能修改時(shí)，尚需后續(xù)測試時(shí)，或尚需返回產(chǎn)品線時(shí)。

低真空模式規(guī)格

樣品室壓力：最大50 Pa

分辨率：3.0nm（30kV）(BEI)

槍室壓力：5 x 10-7 Pa或更小

采用的氣體：干燥氮?dú)?/p>

二手JEOL場發(fā)射電鏡7001F儀器參數(shù):

二次電子分辨率: 1.4nm (1 kV，減速模式)
1.0nm (15kV)
電子光學(xué)：
電子槍: 冷場發(fā)射電子源
加速電壓: 0.5~30kV(0.1KV/步，可變)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物鏡光闌: 4孔，真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器)
檢測器: 二次電子檢測器 (高位/低位)
背散射電子檢測器(可選)
EDX(可選)
透射電子檢測器(可選)
法拉第杯(可選)
陰極熒光檢測器(可選)
樣品臺: l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驅(qū)動:手動(可選3軸驅(qū)動)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驅(qū)動:PC機(jī)控制5軸驅(qū)動
圖像顯示:
操作/顯示: PC/AT 兼容,
操作系統(tǒng)： WindowsTM 2000
18.1" 平面顯示器
掃描模式: 標(biāo)準(zhǔn)，Split/dual mag./linescan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
畫面儲存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840

圖像編輯: 內(nèi)置圖像處理軟件和圖像編輯軟件
圖像文件格式: BMP, TIFF, JPEG
掃描速度: TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/幀) 用于觀察
慢速 (40 ~ 320 s/幀) 用于記錄
成像過程: 自動調(diào)節(jié)亮度和對比度
光柵旋轉(zhuǎn)，自動聚焦，自動像散校正，
平均，幀積分，偽彩色顯示
自動數(shù)據(jù)記錄: 膠卷號，加速電壓，微米標(biāo)尺，放大
倍率，日期，時(shí)間，工作距離
電子圖像移動: ±12u( W.D. = 8 mm)
真空系統(tǒng): *氣閥自動調(diào)節(jié)
離子泵 3 臺
渦輪分子泵(磁浮型) 1 臺
機(jī)械泵 1 臺