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日立熒光鍍層厚度測量儀技術原理及產(chǎn)品特點
X射線發(fā)生系統(tǒng)為X射線聚焦光學系統(tǒng)（聚焦導管）與X射線源相結合，并且可以照射出實際照射直徑為0.1mmΦ以下高強度的X射線束。為此，可以對以往X射線熒光鍍層厚度測量儀由于照射強度不足而無法得到理想精度的導線架、插接頭、柔性線路板等微小部件及薄膜進行測量。同時搭載高計數(shù)率、高分辨率的半導體檢測器，在測量鍍層厚度的同時，也能對RoHS、ELV、中國版RoHS等法規(guī)所管制的有害物質進行分析測量。
1. 薄膜及多層膜測量
通過采用新型的毛細管（X射線聚光系統(tǒng)）和X射線源，把與以往機型FT9500同等強度的X射線聚集在30 μmΦ的極微小范圍。因此，不會改變測量精度即可測量幾十微米等級的微小范圍。同時，也可對幾十納米等級的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進行高精度測量。
2. 異物分析
通過高能量微小光束和高計數(shù)率檢測器的組合，可進行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線，通過與正常部分的能譜差進行異物的定性分析（Al～U）。
3. 數(shù)據(jù)編輯功能
配備了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配備了統(tǒng)計處理軟件，可以進行測量數(shù)據(jù)、平均值、zui大/zui小值、C.V.值、Cpk等的統(tǒng)計處理。 另外，通過Microsoft Word可以簡單的制作包含了樣品畫圖的測量報告書。
4. 高強度照射
通過高強度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。
5. 樣品工作臺
配備等同與FT9550X的大型樣品臺，能夠對大型線路板等樣品進行整體排列測量對應。
FT110A 日立熒光鍍層厚度測量儀通過自動定位功能，只需把樣品放在樣品臺上，便能在數(shù)秒內自動對準觀察樣品焦點，省略了以前手動逐次對焦的操作，大幅提高了測量效果，鍍層厚度測量儀熒光或成分分析儀的原理就是測量這被釋放出來的熒光的能量及強度，來進行定性和定量分析。