鍍層膜厚測量儀兼顧易操作性與安全性
閱讀:546 發(fā)布時間:2018-9-25
鍍層膜厚測量儀兼顧易操作性與安全性
放大了開口,同時樣本室的門也可單手輕松開閉。從而提高了取出、放入檢測樣本的操作簡便性,并且該密封結(jié)構(gòu)也大大減少了X射線泄漏的風(fēng)險,讓用戶放心使用。
鍍層厚度的測量方法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測量法,稱重法,X射線熒光法,β射線反向散射法,電容法、磁性測量法及渦流測量法等等。這些方法中前五種是有損檢測,測量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗。
鍍層測厚儀是將X射線照射在樣品上,通過從樣品上反射出來的第二次X射線的強度來。測量鍍層等金屬薄膜的厚度,因為沒有接觸到樣品且照射在樣品上的X射線只有45-75W左右,所以不會對樣品造成損壞。同時,測量的也可以在10秒到幾分鐘內(nèi)完成。
日立X射線熒光鍍層膜厚測量儀顯微領(lǐng)域的高精度檢測:
X射線熒光通過采用新開發(fā)的多毛細管,以及對探測器的優(yōu)化,在實現(xiàn)照射半徑等同于舊有型號FT9500X為30 μm(設(shè)想FWHM: 17 μm)的基礎(chǔ)上,進一步將處理能力提高到了2倍以上。
日立X射線熒光鍍層膜厚測量儀使用新開發(fā)的X射線聚光用多毛細管的產(chǎn)品陣容誕生了,以X射線檢測結(jié)構(gòu)為中心,對各類元件進行Z佳優(yōu)化,從而大幅提高了檢測靈敏度,在不損失檢測精度的前提下實現(xiàn)了的高處理能力。并且,對設(shè)備進行了重新設(shè)計,使得樣本室的使用,以及對檢測點的檢查變得更為容易。