Heimann Sensor真空傳感器HVS 系列
產(chǎn)品型號(hào):HVS vac04 關(guān)鍵字:Heimann Sensor真空傳感器HVS系列 關(guān)鍵字描述:HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng)新傳感器芯片。 產(chǎn)品介紹:HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng)新傳感器芯片。硅批處理技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小型化和低成本大批量生產(chǎn)。特殊要求可以從1E-5mbar到1E-2mbar的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量范圍擴(kuò)展到1E-1mbar。Heimann真空傳感器HVS是微型皮拉尼(Pirani)型傳感器,基于薄微機(jī)械膜上的加熱電阻器結(jié)構(gòu),傳感器采用小巧耐用的TO型金屬外殼。 參數(shù): 參數(shù) HVS Vac03g HVS Vac03k HVS Vac04 單位 外殼 TO8 TO39 TO39(單個(gè)) TO8(雙) 芯片尺寸 5.2x5.2 4.0x4.0 1.2x1.2 mm2 傳感器電阻RP(典型值) 8.5 8.5 1 kOhm 片上參考電阻RK(典型值) 8.5 8.5 1 kOhm 電源電壓U0 (max.) 3.5 3.2 4(1..1000 mbar) 2(p <1 mbar) volt 工作溫度 -20..120 °C 儲(chǔ)存溫度 -40..120 °C