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ETA620測量平臺：
絲桿升降，平臺上設置V型槽，用來測量形狀較小的工件，可提高測量精度。
花崗巖平臺工作面精度：00級（平面公差值3μm）
花崗巖平臺大小尺寸：400mm×250mm×70mm
垂直升降高度：300±1mm
升降回程誤差：≤手輪旋轉1/6圈
TA630微調平臺：
X—Y平面轉角，俯仰角。
調整范圍：X向 ±12.5mm Y向：±12.5mm
旋轉角度：粗調 360 微調±5 俯仰角度 0～5
TA631微調平臺：
X—Y平面轉角。
調整范圍：X向 ±12.5mm Y向：±12.5mm
旋轉角度：粗調 360 微調±5
TA650測量平臺（TR300）
垂直方向上的升降高度：300±1mm （微調由儀器上的可調支架完成）
垂直方向上的旋轉角度：±45°
回程誤差：不大于手輪的1／6圈
平臺的平面度：00級
平臺尺寸：600 X 420 X 80 mm
總高度：695 mm
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