北京華丞電子有限公司 |
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CS100質(zhì)量流量控制器
參考價(jià) | 面議 |
- 型號(hào) CS100
- 品牌 七星華創(chuàng)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
- 所在地 北京市
更新時(shí)間:2020-06-20 10:51:58瀏覽次數(shù):2566
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
CS100質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計(jì)CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺(tái)開發(fā),在擁有恒功率傳感器技術(shù),數(shù)字傳感器平衡技術(shù),VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上,采用客戶定制化設(shè)計(jì),客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品,同時(shí)其*創(chuàng)的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能(CGC),能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問題,使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境。
優(yōu)勢(shì)
• CS100產(chǎn)品采用客戶定制化設(shè)計(jì),
• 客戶可根據(jù)需要選用±15V雙電源或+24單電源供電;
• 金屬密封或橡膠密封;
• 產(chǎn)品尺寸可選用符合通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品,也可選用緊縮型產(chǎn)品。
CS100質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):
CS100 | ||||||||||||||
型號(hào) | CS100A | CS100D | ||||||||||||
閥類型 | 常閉 | 無 | 常閉 | 無 | ||||||||||
流量規(guī)格(N2) | (0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||||||||||
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) | |||||||||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||||||||
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||||||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1sec | |||||||||||||
工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa; 流量規(guī)格≤10SLM | <0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; 流量規(guī)格≤10SLM | <0.02 MPa | ||||||||||
溫度系數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S/℃ | |||||||||||||
耐壓 | 3MPa | 10MPa | 3MPa | 10MPa | ||||||||||
漏率 | 1×10-9 Pa·m3 / sec He(1×10-8 atm·cc / sec He) | |||||||||||||
密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||||||||||
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||||||||||
工作環(huán)境溫度 | (5~45)℃ | |||||||||||||
輸入信號(hào) | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | 無 | 無 | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | 無 | 無 | ||||||
輸出信號(hào) | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | 模擬: (0~5)VDC | 數(shù)字: RS485 | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | ||||||
電源接頭形式 | D型9針 D型15針 | D型9針 O型3針 | D型15針 | D型9針 D型15針 | D型9針陽接頭; O型3針陽接頭 | D型15針陽接頭 | D型9針 D型15針 | D型9針 O型3針 | D型15針 | D型9針 D型15針 | D型9針陽接頭; O型3針陽接頭 | D型15針陽接頭 | ||
供電電源 | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ||
自動(dòng)清零 | 支持 | |||||||||||||
表面粗糙度 | 25μinch Ra | |||||||||||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套 φ6; 雙卡套φ3;雙卡套1/4´´;雙卡套1/8´´; VCR1/4´´陽接頭; φ6(內(nèi))x1軟管接頭;φ5(內(nèi))x1.5軟管接頭;φ4(內(nèi))x1軟管接頭 | VCR1/4″陽接頭 | ||||||||||||
重量 | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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