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          原裝HORIBA 控制器SEC-8000

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          • 原裝HORIBA 控制器SEC-8000

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          更新時(shí)間:2022-03-04 14:30:15瀏覽次數(shù):286

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          原裝HORIBA 控制器SEC-8000SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器


          氣體接觸部材質(zhì)

          SUS-316L

          閥門(mén)類(lèi)型

          NO: 非通電時(shí):開(kāi)

          標(biāo)準(zhǔn)流量量程

          5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

          流量控制范圍

          2?100% F.S.(滿量程)

          流量精度

          ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

          詳細(xì)介紹

          原裝HORIBA 控制器SEC-8000

          概要

          質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測(cè)量,需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。

          特征

          它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

          適用于高溫:可滿足150℃烘焙產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)超清潔類(lèi)型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

          概要

          質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測(cè)量,需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。

          特征

          它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

          適用于高溫:可滿足150℃烘焙產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)超清潔類(lèi)型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制



          原裝HORIBA 控制器SEC-8000

          SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器


          氣體接觸部材質(zhì)

          SUS-316L

          閥門(mén)類(lèi)型

          NO: 非通電時(shí):開(kāi)

          標(biāo)準(zhǔn)流量量程

          5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

          流量控制范圍

          2?100% F.S.(滿量程)

          流量精度

          ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃


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