詳細(xì)介紹
原裝HORIBA 控制器SEC-8000
概要
質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測(cè)量,需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
適用于高溫:可滿足150℃烘焙產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)超清潔類(lèi)型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
概要
質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測(cè)量,需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
適用于高溫:可滿足150℃烘焙產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)超清潔類(lèi)型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
原裝HORIBA 控制器SEC-8000
SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器 | |
氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
閥門(mén)類(lèi)型 | NO: 非通電時(shí):開(kāi) |
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
流量控制范圍 | 2?100% F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(滿量程) 使用溫度:80?100℃ |