您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
晶圓測溫系統(tǒng) TC Wafer晶圓硅片測溫熱電偶
TC為熱電偶的簡稱， TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等！（溫度的均勻與否，良率）
TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面，對晶圓表面的溫度進行實時測量。通過晶圓的測溫點了解特定位置晶圓的真實溫度，以及晶圓整體的溫度分布，同還可以監(jiān)控半導體設備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化，獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數(shù)據(jù)，從而了解半導體設備的溫度均勻度。
智測電子的高精度TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)是半導體制造廠 Fab、PVD/CVD 部門、RTP 部門等行業(yè)用戶的***。
作為一家專業(yè)的傳感器生產(chǎn)廠家，智測電子不僅擁有全套傳感器生產(chǎn)、加工與檢測設備，還能為用戶提供定制化的解決方案。
其產(chǎn)品優(yōu)勢在于軟件功能優(yōu)異，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度多通道數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)統(tǒng)計、趨勢繪圖和數(shù)據(jù)導出等功能。智測電子生產(chǎn)研發(fā)的TC-Wafer晶圓測溫系統(tǒng)，其溫度范圍廣泛，智測電子的產(chǎn)品設計考慮到了用戶的實際需求，傳感器引線可定制，且采用了硅基膠粘劑和焊接技術，使其具有更好的性能和可靠性。
總之，智測電子的高精度溫度傳感器不僅在技術上具備優(yōu)勢，而且在服務方面也能夠為用戶提供專業(yè)的解決方案。無論是在半導體裝備、航空航天、智能制造、高校實驗室、計**所、生物技術等行業(yè)，智測電子都能夠為用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務，滿足用戶對高精度測溫的需求。
晶圓測溫系統(tǒng) TC Wafer晶圓硅片測溫熱電偶