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        1. 上海進佳科學儀器有限公司
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          horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522/Z532/Z542
          • horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522/Z532/Z542
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          貨物所在地:上海上海市

          地: 日本

          更新時間:2024-10-18 09:10:38

          瀏覽次數(shù):23

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          ( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

          horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522/Z532/Z542

          小量程0-20sccm,大量程0-200SLM
          高精度:&amp;amp;#177;1.0% S.P. (25-100% F.S.); &amp;amp;#177;0.25% F.S. (≤25% F.S.)
          模擬信號輸出:0-5VDC,可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

          horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z522/Z532/Z542

          量程0-20SLM、0-200SLM,RS485通訊/0-5VDC

          銷售型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512SEC-Z522。

          可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

          可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60SEC-E40MK3。

          國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

          國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212S600 BR222S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226S600 BM226、S600 CR212S600 CR222S600 CR226、S500BR212、S500BM212  

             

          horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522 又稱氣體質(zhì)量流量控制器,簡稱MFC。

          主要功能是:控制器管路中的流量達到期望的設定值,同時反饋實際的流量信號到上位機。

          大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中,國內(nèi)多回收、二次銷售,

          我公司提供進口

          SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等,

          保證全新進口,終身維修。


          產(chǎn)品特點
          1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設定;
          2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
          3) 快速響應:< 1(全量程范圍內(nèi),任意設置點);
          4) 非常方便的現(xiàn)場設置操作;
          5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以
          zui大限度地減少庫存;
          6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
          7)
          可選其他數(shù)字通訊:DeviceNetEtherCAT、CC-Link、模擬信號。


          horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522/Z532/Z542   horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522/Z532/Z542   horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522/Z532/Z542

          產(chǎn)品參數(shù)

          規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式

          型號*1

          SEC-Z512Z514

          SEC-Z512MGX

          SEC-Z522MGXN

          SEC-Z522MGX

          SEC-Z514MGX

          SEC-Z524MGXN

          SEC-Z524MGX

          全標準流量
          (N2 轉(zhuǎn)換流量)

          1/2SCCM


          10SCCM
          -10SLPM

          10-50SLM

          閥門類型

          O: 通常打開 C: 通常關閉

          關閉控制閥時的流量

          ≤ 2% F.S.

          流量測量范圍

          0-100% of F.S.

          精確性*2

          ±1.0%F.S.

          ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

          ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

          工作溫度

          5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)

          響應

          ≤ 1 :超過全流量范圍

          直線性

          ≤ ±0.5% F.S.

          反復性

          ≤ ±0.2% F.S.

          工作壓差值

          ≤ 300 kPa (d)

          zui大工作壓力

          450 kPa (g)

          耐壓

          1000 kPa (g)

          外部泄漏率

          ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

          流量設定信號

          0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高

          流量輸出信號

          0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高

          數(shù)字界面

          地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)

          F-Net 協(xié)議,DevceNet

          接液部材質(zhì)

          316L 不銹鋼(表面拋光)

          電源

          +15V±5% 150mA

          -15V±5% 150mA

          信號反應

          模擬: D-Sub 9-pin (TOP)

          數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)

          標準接頭*3

          1/4 inch VCR

          1/4 inch VCR

          1.5 inch IGS

          選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

          可選1.125 inch IGS

          安裝方向

          自由

          *1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。
          *2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
          *3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
          *SCCM SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C101.3 kPa)

          訂購注意:

          請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。

          如是設備備件的更換,請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。





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