主要特征
材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐熱性、低熱膨脹系數(shù)等特性，能適合在特殊環(huán)境下使用保證高精度、可靠性。
Al2O3的復合材料能在真空、非磁性條件下使用
導軌部件使用Si3N4材料制成，具有很好的平滑性能，可以省去使用潤滑油，避免了污染真空環(huán)境，影響真空度
適用zui高真空度10－5Pa的環(huán)境

應用
電子、半導體制造裝置（EB裝置等）
新一代半導體設備的研究開發(fā)
其他納米科技研究

線性馬達規(guī)格