安晟RTP紅外燈管加熱管式爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌，可用手動(dòng)滑動(dòng)。加熱和冷卻速率最大可達(dá)100°C/m。為取得較快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。 可選擇單設(shè)定點(diǎn)或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu)，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標(biāo)較高，處于國內(nèi)*水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。

安晟RTP紅外燈管加熱管式爐適用范圍：可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下，對樣品進(jìn)行快速熱處理，主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。