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SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)

【SID4-UV波前分析儀簡(jiǎn)介】

隨著光波波前探測(cè)技術(shù)的發(fā)展，各種波前傳感器應(yīng)運(yùn)而生。從測(cè)量原理上可以分成兩類(lèi)：一類(lèi)是根據(jù)幾何光學(xué)原理，測(cè)定波前幾何像差或面型誤差，主要有Shack－Hartmann 波前傳感器，曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等；另一類(lèi)是基于干涉測(cè)量原理，探測(cè)波前不同部分的干涉性，來(lái)獲取波前信息，主要有剪切干涉儀波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標(biāo)準(zhǔn)鏡;它們結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，抗干擾能力強(qiáng)，條紋穩(wěn)定。SID4-UV波前分析儀是測(cè)量光學(xué)元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。SID4-UV波前分析儀作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV波前分析儀非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。

【關(guān)于Phasics】

Phasics是一家專(zhuān)注于高分辨率波前傳感技術(shù)的法國(guó)公司。Phasics公司憑借其在測(cè)量方面的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)與*的波前測(cè)量技術(shù)為客戶(hù)提供全面的高性能波前傳感器。

一、 SID4-UV 紫外波前傳感器(波前分析儀)主要特點(diǎn)

• 250 x 250超高相位取樣分辨率

• 2 nm RMS高相位靈敏度

• 紫外波段波前測(cè)量的通用解決方案

                                非準(zhǔn)直光入射                                                                                                      消色差

二、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀產(chǎn)品應(yīng)用

• 波前像差測(cè)量

基于四波剪切技術(shù)，Phasics 的波前傳感器同時(shí)提供具有高分辨率的相位和強(qiáng)度測(cè)量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合，可提供完整的激光診斷：波前像差、強(qiáng)度分布、激光光束質(zhì)量參數(shù)（M2、束腰尺寸和位置等）。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學(xué)裝置的任何一點(diǎn)，無(wú)論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。

• MTF測(cè)量

SID4系列波前傳感器可以配合用戶(hù)自行搭建的光路系統(tǒng)進(jìn)行像質(zhì)評(píng)價(jià)，只需一次直接拍攝，就可以通過(guò)軟件后處理測(cè)量參數(shù)(PSF, MTF, Zernike系數(shù))。如果不能自行搭建光路系統(tǒng)，也可以進(jìn)一步了解Kaleo Kit 套裝等產(chǎn)品測(cè)量MTF等產(chǎn)品。

三、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀應(yīng)用領(lǐng)域

紫外光學(xué)測(cè)量| 光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)| 自適應(yīng)光學(xué)| 等離子體密度

四、SID4-UV波前分析有/波前傳感器主要規(guī)格

五、與夏克-哈特曼波前傳感器對(duì)比

六、更多參數(shù)選型