氬離子設(shè)備
對于表面分析，樣品表面極易被污染。
為了清潔被污染的固體表面,在能譜分析中,常常利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束對樣品表面進(jìn)行濺射剝離,以清潔表面。
利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束定量地剝離一定厚度的表面層,然后再分析表面成分,這樣就可以獲得元素成分沿深度方向的分布圖。
同時，離子設(shè)備也兼具中和樣品表面荷電的作用。
一、氬離子設(shè)備原理圖
▲ 圖1 氬離子設(shè)備原理圖
二、氬離子設(shè)備實圖
▲圖2 氬離子設(shè)備圖
三、氬離子設(shè)備主要作用
> 清潔(樣品表面被污染)
清潔被污染的樣品表面,利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束對樣品表面進(jìn)行濺射剝離,以清潔表面
> 濺射(對樣品進(jìn)行深度剖析)
利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束定量地剝離一定厚度的表面層,然后再分析表面成分,以獲得元素成分沿樣品深度方向的分布
> 荷電中和
中和樣品表面的荷電
四、氬離子設(shè)備多種參數(shù)設(shè)定
根據(jù)樣品需要設(shè)置多種參數(shù)選擇性
▲圖3 氬離子設(shè)備多種參數(shù)選擇
五、不同設(shè)備儀器的氬離子設(shè)備
▲圖4 氬離子設(shè)備在XPS上
▲圖5 氬離子設(shè)備在PHI710上
▲圖6 氬離子設(shè)備在TOF-SIMS上
六、簡易便捷的氬離子設(shè)備燈絲實體圖
▲ 圖7 XPS的氬離子設(shè)備燈絲
▲ 圖8 PHI710的氬離子設(shè)備燈絲
▲圖9 TOF-SIMS的氬離子設(shè)備燈絲
結(jié)語
氬離子設(shè)備已廣泛應(yīng)用在各表面分析設(shè)備上，且可以根據(jù)樣品進(jìn)行參數(shù)的設(shè)定選擇，是進(jìn)行表面分析不能缺少的構(gòu)件。
-轉(zhuǎn)載于《PHI表面分析 UPN》公眾號
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