Physik Instrumente壓電陶瓷納米定位器
:PI (Physik Instrumente)
公司簡(jiǎn)介:
德國(guó)PI公司是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
PI不僅開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器,用于線性,旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。
P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器
· X和Y向上的行程達(dá)100微米×100微米
· 電容式傳感器使分辨率達(dá)0.1納米
· 帶直接驅(qū)動(dòng)器的高速版本
· 可提供真空兼容和非磁性版本
· 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更高精度和動(dòng)態(tài)
· 導(dǎo)向誤差主動(dòng)補(bǔ)償?shù)牟⑿杏?jì)量
· 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
· 50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應(yīng)用
Physik Instrumente壓電陶瓷納米定位器
應(yīng)用領(lǐng)域
· 掃描顯微鏡
· 共聚焦顯微鏡
· 掩模/晶圓定位
· 表面測(cè)量技術(shù)
· 納米壓印
· 顯微操縱
· 圖像處理/穩(wěn)定
· 高運(yùn)動(dòng)平面度和直線度的納米定位
訂購(gòu)信息
帶直接驅(qū)動(dòng)器
P-733.2DD 高動(dòng)態(tài)精密XY向納米定位系統(tǒng),30 微米 × 30 微米,直接驅(qū)動(dòng),電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器
帶Sub-D連接器(公頭)的版本
P-733.2CD 精密XY向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米,電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器