勻膠機又稱旋涂機、甩膠機、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、真空鍍膜機
勻膠機適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等藝,主要應用于溶膠-凝膠(sol-gel)實驗中的薄膜制作,其作原理是速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關
勻膠機旋涂儀 可設定存儲7個不同樣片的旋轉涂敷藝過程。
勻膠機旋涂儀 每個涂敷藝過程可以設置25步不同的速度狀態(tài);
勻膠機旋涂儀 液晶顯示屏可以實時顯示:
1. N個涂敷藝過程
2. 所處作段
3. 真空吸片狀態(tài)。
4. 設置時間;及實時運行時間。
5. 設置速度;及實時速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機交互式對話,簡潔,明了
勻膠機旋涂儀器空吸片系統(tǒng)更安:
勻膠機旋涂儀安裝有真空度傳感器,涂敷作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度,
須在安的真空度下,電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。
勻膠機旋涂儀 變頻調(diào)速電機,轉速:
300 - 10000 轉/分,轉速穩(wěn)定性:+ - 0.1 %
轉速10000轉/分
勻膠機旋涂儀 不銹鋼機殼 NPP材質(zhì)作腔
不銹鋼機殼,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
勻膠機旋涂儀 NPP材質(zhì)作腔。
勻膠機旋涂儀 單相交流電源:220V.50Hz
勻膠機旋涂儀 電機率:150W
勻膠機旋涂儀 旋轉真空吸盤直徑:4英寸
基片直徑10—150mm可接受訂貨。
轉數(shù):300 - 10000 轉/分。
可設定時間:1---9999秒。